판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198545

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ® 원자로는 박막 재료로 기판을 코팅하는 데 사용되는 고급 PVD (Physical Vapor Deposition) 장비입니다. 이 고성능 PVD 시스템은 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 뛰어난 재료 활용도를 정밀 제어하여 처리량을 높이고 비용을 절감합니다. 이 장치는 일관된 성능과 안정성을 제공합니다. AMAT ENDURA ® 는 기판 척 및 가스 패널 어셈블리를 보유한 수냉식 스테인리스 스틸 챔버로 구성됩니다. 소스 재료는 가스 패널 안에 밀봉 된 소스 컨테이너에 보관됩니다. 전자 빔 증발기는 소스 물질을 몰입시키는 데 사용됩니다. 결과 물질 증기는 디퓨저 플래튼 (diffuser platen) 을 통과하고 결국 기판에 증착된다. 가스 패널에는 패널 히터, 광학 시청 창 및 포워드 노블 가스 입구 (forward noble gas inlet) 가 포함됩니다. 습기 및 산소 자유 증착 조건을 보장하기 위해, 증착 전에 높은 순도 고귀한 가스가 챔버에 도입된다. 그런 다음 가스는 MFC (Integrated Mass Flow Controller) 를 통과하여 가스 흐름 및 증착 두께를 정확하게 제어합니다. 전극 기판 척은 바닥이 장착되어 있으며 3 개의 동심 원통형 전극 세트로 구성됩니다. 기질 가열 및 냉각뿐만 아니라 기질 온도를 정확하게 조절하는 데 사용됩니다. 또한, 척은 챔버 초점 평면에서 기판 회전 및 움직임을 허용합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA® 시스템에는 증착 프로세스 모니터링을위한 제어 모듈도 포함되어 있습니다. 제어 모듈은 콘솔, 소프트웨어, 전원 공급 장치, 연동 도구 및 펌프로 구성됩니다. 이 자산은 설치, 유지 보수, 운영을 손쉽게 수행할 수 있도록 설계되었으며, 탁월한 수준의 제어 기능을 제공합니다. ENDURA® 원자로는 안정적이고 강력한 PVD 모델입니다. 정확한 재료 활용도, 높은 처리량 및 뛰어난 재료 균일성을 제공합니다. 많은 박막 증착 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다.