판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198539
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 처리에 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 증착 원자로입니다. 이러 한 형태 의 원자로 로, 원하는 화학 종 을 함유 한 "가스 '가 원천 물질 로부터 방출 되어, 가열 된 표면 에 노출 된다. 화학 물질 이 표면 에 접하게 되면, 그 들 은 반응 을 나타내어 표면 에 얇은 "필름 '을 형성 한다. 이 박막은 반도체 웨이퍼 (wafer) 처리, 집적 회로 만들기 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있다. AMAT ENDURA 원자로는 높은 생산, 저렴한 애플리케이션에 적합한 단일 웨이퍼 원자로입니다. 원자로는 환경 통제 챔버에 수용되며, 안정적이고 반복 가능한 공정 제어를 제공합니다. 저비용 (LC) 과 생산성이 높은 프로세스로 메모리 칩 (Memory Chip), 트랜지스터 제작 (Transistor Manfrication) 과 같은 산업 애플리케이션에 인기가 있습니다. 응용 물질 ENDURA 원자로는 실리콘, 질화 실리콘, 텅스텐 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 효율적인 가스 흐름 시스템을 통해 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이렇게 하면 "필름 '의 두께 에 정확 한 증착율 과 균일성 이 있게 된다. 또한, 원자로에는 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 장착되어 표면의 온도를 정확하게 제어하고, 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. ENDURA 원자로의 기능은 유연성과 비용 효과에 의해 더욱 확대됩니다. 많은 수의 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 처리하여 다양한 프로세스를 처리할 수 있습니다. 또한, 신뢰성과 저렴한 비용으로 인해 소규모 웨이퍼 (wafer) 처리에 적합하며, 일관되고 반복 가능한 결과를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 효율성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 이 프로세스는 뛰어난 균일성을 제공하여 반복 가능한 결과를 산출합니다. 즉, 자동화를 통해 처리 속도가 빨라지며 신속한 프로토타입 (prototyping) 및 유사한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 또한 모듈식 설계를 통해 유지 관리 및 업그레이드가 쉽고 유연성이 뛰어난 시스템을 구축할 수 있습니다 (영문). AMAT ENDURA 원자로는 반도체 응용 분야에서 CVD 처리에 인기있는 선택이되었습니다. 경제적이고 효율적인 설계로 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 유연성, 사용 편의성 등으로 다양한 산업용 어플리케이션에 적합합니다.
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