판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198531

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 다용도, 비용 효율적인 장비에 뛰어난 균일성과 생산성을 결합한 단일 웨이퍼 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 혁신적인 디자인을 채택한 원자로 (Reactor) 는 확장성을 향상시키기 위해 최대 830mm 공정 모듈 (process module) 을 수용하여 유전체와 비 유전체 재료의 프런트 엔드 증착을 허용합니다. AMAT ENDURA의 고급 기술은 단일 시스템에서 다양한 통합 프로세스 기능을 제공합니다. 원자로 (Reactor) 에는 대용량 생산에 필요한 구성 요소 외에도, 사람의 오차를 줄이고 프로세스 제어를 개선하기 위해 고안된 여러 기능이 포함되어 있습니다. 이 장치는 웨이퍼 기판과 함께 전구체 가스 접촉 시간 (compursor gas contact time) 의 최대 매끄러운 균일성 및 정밀 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 증착 중 웨이퍼 표면의 온도 프로파일을 최적화하는 웨이퍼 냉각기 (wafer cooling machine) 가 통합되어 균일 한 재료 증착이 발생합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 의 프로세스 모듈은 프로세스 제어를 더욱 향상시켜, 애플리케이션에 대한 특정 요구를 조정하는 데 도움이 되는 광범위한 프로세스 매개변수를 제공합니다. 또한, 원자로의 독특한 설계를 통해 다양한 소스와 기술을 지원할 수 있으며, 엔지니어는 수요가 증가함에 따라 생산량을 적절하게 확장 할 수있는 유연성 (Flexibility) 을 제공합니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서, 엔두라 (ENDURA) 는 포괄적인 격리 기능을 제공하며, 프로세스 시작 시 단단히 닫히고 완전한 인감 (seal) 이 달성 될 때까지 폐쇄되는 격리 도어 (containment door) 를 갖추고 있습니다. 이러한 격리 기능은 엄격한 안전 표준을 충족하며, 사용자가 작업 중에 안심할 수 있도록 합니다. 또한, 원자로는 IP-65 등급을 받았으며, 외국 물체, 먼지, 가벼운 비 및 튀는 물에 대한 도구 구성 요소의 안전과 보호를 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 소규모 및 대규모 생산 시설을위한 이상적인 단일 웨이퍼 CVD 원자로입니다. 규모가 크고, 확장 가능한 프로세스 모듈 (process module), 우수한 프로세스 제어 및 안정적인 안전 기능을 통해, 자산은 점점 더 복잡한 반도체 산업의 요구를 충족시킬 수 있습니다.