판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198529

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT ENDURA) PVD 장비는 금속 또는 합금 재료의 박막을 전자, 의료 및 유리 부품의 기판 표면에 입금하도록 설계된 물리적 증기 증착 (PVD) 장비입니다. 이 시스템은 대용량 생산 및 다중 사용자 운영 (multi-user operation) 을 포함하여 광범위한 시장 요구를 충족하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 원자로는 최적화된 이중 동적 웹 설계를 기반으로 하며, 높은 처리량과 낮은 기능의 대규모 증착 영역을 제공합니다. 또한 설치 설치 공간을 줄이는 데 도움이 되는 공간 절약 (space-saving) 기능도 포함되어 있습니다. 이 장치에는 광범위한 진공기 (vacuum machine) 구성과 챔버 (chamber) 구성이 포함되어 있어 다양한 애플리케이션이 가능합니다. 이 도구는 기판 평탄성을 보장하는 강력한 정전기 클램핑 에셋 (electrostatic clamping asset) 과 기판의 정확한 위치화 및 잘 형성된 레이어의 높은 수율을 보장하는 동적 자기 정렬 로봇 (DAR) 을 갖추고 있습니다. 또한, 이 모델은 다양한 응용 프로그램 및 프로세스 시퀀스에 대한 고급 프로세스 제어 기능, 가변성, 모듈성, 확장성으로 설계되었습니다. 이 장비는 ALD (Atomic Layer Deposition), HII (Hot Ion Implantation) 및 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 와 같은 고급 기술도 지원합니다. 또한, "레이저 '처리 와 광학 재료 가공 을 위한 자석 을 추가 할 수 있는 방법 이 있다. ENDURA는 에칭 프로세스, 포토 리토 그래피, 전기 도금 등을 포함하여 다양한 재료 및 화학 물질을 위해 설계되었습니다. 또한 구리, 스테인리스 스틸, 티타늄 등 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 시스템은 고성능, 유연한 도량형 및 검사 기능을 제공합니다. 여기에는 세부 프로세스 데이터를 동시에 수집하면서 정확한 사양을 보장하기 위한 현장 (in-situ) 도량형도 포함됩니다. 예를 들어, Data Parcel Approach 는 동시 도량형, 데이터 수집, 프로세스 제어를 지원하며 예측 피드백 제어도 지원합니다. 또한, 이 장치에는 자동 웨이퍼 수집 장치 (wafer-ingestion machine) 가 포함되어 있어 수동 설정을 제거하고 다운타임을 줄일 수 있는 효율적인 경로를 제공합니다. 또한, 이 도구에는 처리량 및 수율을 증가시키는 여러 가지 고급 자동화 (advanced automation) 기능이 포함되어 있습니다. 결론적으로 AMAT ENDURA는 다양한 시장 요구를 충족하도록 설계된 탁월한 PVD 자산입니다. 각기 다른 재료, 기판, 프로세스를 위해 설계되었으며, 견고하고 고급 프로세스 제어 및 검사 기능을 제공합니다. 또한 공간 절약 및 자동화 기능을 통해 처리량, 수익률, 비용 대비 효과를 극대화할 수 있습니다.