판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198528

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 마이크로 일렉트로닉스 업계에서 반도체 제조에 필수적인 재료 층을 만들기 위해 광범위하게 사용되는 다재다능한 증착 도구입니다. 이 장비는 다중 재료 증착 (deposition of multiple materials) 을 위해 설계되었으며, 프로세스 중단을 최소화하면서 제품을 신속하게 변경할 수 있습니다. 또한, 원자로의 고급 설계는 CVD (열 화학 증기 증착) 에서 PECVD (plasma-enhanced CVD) 에서 ECR (electron cyclotron resonance) PECVD에 이르기까지 다양한 원자 별 증착 과정을 수행 할 수 있습니다. AMAT ENDURA 원자로는 넓은 지역 증착실로, 넓은 지역 기판에 균일 한 증착을 제공합니다. 이것 은 수평 반응 "튜브 '설계 에 의하여 가능 하게 되는데, 이것 은 약실 전체 를 통하여 균질 한" 가스' 의 흐름 을 만들어 낸다. 이 프로세스는 고유하고 혁신적인 기판 포지셔닝 시스템 (positioning system) 에 의해 가능하며, 최소한의 연산자 개입으로 기판을 쉽고 정확하게 포지셔닝 할 수 있습니다. 반응 튜브는 열전달을 최적화하고 증착 과정에서 기질의 오염을 최소화하도록 설계된 열전달 코팅 (pyrolitic coating) 을 가진 흑연으로 만들어졌다. 이것 은 흑연 을 쉽사리 확장 시키거나 공정 온도 차이 와 수축 시킴 으로써 달성 되며, 따라서 약 300 "센티미터 '의 온도 에서도 물질 의 균일성 을 유지 한다. 챔버의 탑재 된 샤워 헤드 (showerhead) 어셈블리는 기판의 전체 영역에 균일 한 반응성 가스 분포를 제공합니다. 이것 은 "쇼어헤드 제트 '를 형성 하여 반응물" 가스' 를 기판 에 골고루 분배 시킨다. 증착 과정 외에도 APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 다수의 안전 및 제어 시스템을 제공합니다. 이 장치에는 초저온 반응성 가스 소스와 저진공 가스 소스가 포함됩니다. 이렇게 하면 "반도체 '장치 의 여러 가지 재료 를 안전 하게 증착 할 수 있다. 또한, 이 기계는 프로세스 및 재료/단계 불안정에 대한 필수 정보를 제공하는 포괄적이고 정밀한 로깅 (logging) 및 경보 시스템 (alarming system) 을 갖추고 있습니다. 전반적으로, ENDURA 원자로는 반도체 제조에서 복잡하고 정확한 재료 층을 만드는 데 사용되는 귀중한 도구입니다. 첨단 "디자인 '은 균일 한 침착물 과 극소 한 오염 을 제공 하며, 안전 과 조절 장치 는 가장 섬세 한 물질 까지도 극히 정확 하게 안전 하게 퇴적 되도록 보장 해 준다. 그렇다.