판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198525

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 고급 반도체 장치 제조를위한 고성능, 고부가가치 원자로 솔루션입니다. 이 원자로는 오늘날의 최첨단 IC (Integrated Circuit) 설계에 필요한 정확한 High-K 공정 기술을 고객에게 제공하도록 특별히 설계되었습니다. AMAT ENDURA Reactor는 낮은 소유 비용, 반복 가능한 결과, 사용 편의성으로 인해 다른 최첨단 원자로 솔루션과 비교하여 비용 효율적인 원자로입니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 2 개의 AMPC (Advanced Materials Process Center) 가있는 모듈 식, 단일 챔버, 수직 초고진공 원자로로 구성됩니다. AMPC는 매우 정확한 온도, 압력 및 가스 제어 기능과 같은 통합 처리 기능을 제공하여 고객이 향상된 FEOL 및 BEOL 프로세스를 달성 할 수 있습니다. 원자로는 직경 200mm ~ 300mm 범위의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 를 사용하여 층을 빠르게 퇴적 및 에칭할 수 있습니다. ENDURA Reactor는 고급 보호 및 신뢰성도 제공합니다. 원자로에서 더 극단적 인 반응성 이온 에칭 (RIE) 프로세스를 활용 할 수 있으며, 이는 중요한 웨이퍼 표면적의 손실을 줄이고, 여전히 필요한 수준의 장치 보호를 제공한다. 특허를받은 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 디자인은 냉각제를 직접 공급 한 다음 최대 온도보다 훨씬 낮은 온도에서 포화 증기를 소진합니다. 이 최첨단 설계는 장치가 항상 프로세서에 이상적인 환경, 장치 안정성, 안전성을 보장하는 데 도움이 됩니다. 또한, AMAT ENDURA 원자로의 모듈 식 설계는 운영자에게 독립적 인 프로세스 제어를 제공하며, 항상 안전하고 통제 된 작동을 제공합니다. 또한, AMPC 는 에너지 효율이 높도록 설계되어, 에너지 소비를 최소화하면서 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있도록 합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 최첨단 IC 설계를 위한 최첨단 프로세스를 찾는 고객을 위한 최고의 솔루션입니다. 원자로 (Reactor) 는 낮은 소유 비용과 반복 가능한 결과로 인해 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 또한, 이 원자로의 첨단 설계는 최고의 장치 보호 (protection) 와 안정성 (안정성) 을 보장하며 에너지 효율적인 작동을 통해 고객이 최고의 품질의 결과를 얻을 수 있도록 합니다.