판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198524

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 생산 수준 엔지니어링 및 제작 도구입니다. 이 원자로는 반도체 및 관련 부품을 제조하기위한 단일 챔버 솔루션으로 사용됩니다. 박막 증착, 에치, 이식, 빠른 열 처리, 빠른 열 연쇄, 습식 프로세스 및 기타 특수 작업과 같은 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 는 고급 프로세스 제어, 자동화 및 다양한 기능을위한 레시피 개발에 고급 설계 기능을 사용합니다. 원자로 아키텍처는 다양한 최종 사용자 애플리케이션에 대해 쉽게 재구성할 수 있습니다. 또한 다양한 FM (Functional Module) 을 통해 프로세스 제어를 최적화하고, 깨끗한 챔버를 유지하고, 장비 수명을 늘릴 수 있습니다. 응용 재료 (APPLIED MATERIALS) ENDURA는 우수한 온도 균일성과 정확한 온도 제어를 가능하게하여 모든 처리 주기 동안 일관된 성능을 보장합니다. 유연성 통합 (Flexible Integration) 은 표준 플랫폼에서 제공되는 기능을 넘어 프로세스 레시피를 설계, 확장, 수정할 수 있는 기능을 제공합니다. 원자로에는 DC 펄스 플라즈마 (DC Pulsed Plasma) 모듈이 장착되어 있으며, 기판 청소는 물론 프로세스 균일성을 향상시킵니다. 엔두라 (ENDURA) 는 질소, 아르곤, 헬륨, 수소 등 다양한 공정 기체를 사용하여 다양한 기질에서 복잡한 박막 구조를 제조 할 수 있습니다. 원자로는 반도체의 배치 (batch) 와 인라인 (inline) 생산에도 적합하며, 반도체 산업의 연구· 개발· 제조에 이상적인 도구다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로에는 이중 정전기 척 모듈 (Electrostatic Chuck Module) 과 후면 히터 (옵션) 가 장착되어 있어 온도 처리와 기판 균일성이 향상되었습니다. 또한, 강력한 증착 및 에치 (etch) 기술은 광범위한 공정 기술을 수용하여 박막 증착, 절연층 형성 및 박막 표면 수동화를 위해 매우 다재다능한 옵션입니다. 또한, AMAT ENDURA 원자로는 모든 공정 챔버 및 I/O 연결이 동봉 된 캐비닛에 위치하여 빠르고 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 안정적인 평생 운영, 낮은 TCO (총 소유 비용) 를 제공합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 강력하고, 다양하며, 비용 효율적인 제작 툴로, 다양한 엔드 유저 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 우수한 성능, 온도 균일성, 정확한 온도 조절을 보장하는 첨단 기술 (Advanced Technologies) 을 통해 반도체, 복잡한 박막 구조 및 기타 구성 요소를 제작하는 데 안정적인 파트너가 됩니다.