판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198517

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제작 및 기타 관련 프로세스를 위해 설계된 고급 에치 원자로입니다. AMAT ENDURA 원자로는 웨이퍼의 중요한 이방성 (한 방향으로 기울어짐) 에칭을 수행하도록 특별히 설계되었습니다. 이 과정은 집적 회로 및 반도체 제품 제조에 사용되는 다른 부품을 생산하는 데 중요합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 다양한 웨이퍼 크기를 처리하는 기능에서 독특합니다. 여기에는 200mm (8 인치) 및 300mm (12 인치) 직경의 웨이퍼가 포함됩니다. 원자로 는 "에치 '율 과 조건 을 정확 하게 조정 할 수 있는 여러 가지 특징 을 가지고 있다. 여기에는 가스 흐름, 가스 구성 및 온도를 조정하고 공정 압력, 전력, 바이어스를 제어하는 기능이 포함됩니다. 이 최첨단 원자로는 진공원, 극저온 펌프, 고압 가스 공급 장치를 사용하여 원하는 에치 환경을 유지합니다. 이러한 이유로, 원자로는 최고 수준의 통합 (integration) 을 위해 설계되었으며, 이를 통해 운영자는 동일한 장비에서 여러 에치 (etch) 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이렇게 하면 여러 공정 단계 및 다양한 에치 화학 물질 (etch chemistry) 에서 에칭 조건을 쉽게 사용하고 효과적으로 최적화할 수 있습니다. 엔두라 (ENDURA) 원자로에는 운영자가 프로세스 매개변수를 정확하게 조정할 수있는 고급 제어 시스템 (advanced control systems) 도 장착되어 있습니다. 여기에는 최적의 챔버 (chamber) 및 가스 (gas) 조건과 프로세스 추적성 및 분석에 사용할 수 있는 데이터 로깅을 보장하는 피드백 시스템이 포함됩니다. 마지막으로, 원자로는 로봇 공구로 빠르게 로드하고 언로드하여 가동 시간 (uptime) 과 처리량 (throughput) 을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS/AMD AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 반도체 산업에서 광범위한 etch 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 기능은 운영자가 에칭 (etching) 작업을 수행할 수 있도록 안정적이고 효율적이며 프로그래밍 가능한 방법을 제공합니다. 대용량, 복잡한 에치 (etch) 프로세스에 이상적이며 통합된 자동화 호환 도구를 사용할 수 있습니다. 즉, 신속한 프로세스 전환을 보장하며, 최적화된 설정을 통해 가장 효율적이고 저렴한 에칭 작업을 수행할 수 있습니다.