판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198515

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198515
Chamber I/O board Part number:0100-00546.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT) 는 집적 회로, 디스플레이 및 LED 조명을 포함한 다양한 응용 분야에 반도체 업계에서 박막 생산에 사용되는 고성능 증착로입니다. AMAT ENDURA는 고급 증착 기술을 사용하여 코팅 및 증착 과정에서 우수한 공정 성능 및 기판 커버리지를 제공합니다. 또한 APPLIED MATERIALS ENDURA는 다중 어닐링 옵션 및 저온 증착 과정으로도 유명합니다. ENDURA는 온벽 반응 챔버를 사용하는데, 여기에는 가스, 이온, 원자, 분자와 같은 다양한 물질이 포함되어 이온, 원자 및 전자가 생성됩니다. 이 이온, 원자 및 전자는 원하는 적용에 따라 두께가 다양한 박막 층을 형성합니다. 그런 다음 기질이 뜨거운 벽에 배치되어 반응 과정을 시작합니다. 온수 벽 은 특정 한 온도 로 가열 되어, 반응물 들 이 반응 하여 원하는 특성 으로 "박막 '층 을 형성 할 수 있게 된다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA에는 기질과 반응 챔버 사이의 전기 장을 제어하기 위해 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 AMAT ENDURA는 박막 층의 증착 속도와 균일성을 관리 할 수 있습니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 에는 박막 레이어 형성 프로세스를 모니터링하고 필요한 지점에서 증착 과정을 중지하는 고급 엔드 포인트 탐지 장비가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 원하는 박막 레이어가 가장 높은 품질과 균일성 (unifority) 으로 도달하도록 할 수 있습니다. 또한, 종단점 탐지 시스템 (End-Point Detection System) 은 레이어의 균일성과 두께를 더욱 효과적으로 제어할 수 있으며, 특히 박막 응용 프로그램에 중요합니다. 또한 ENDURA 에는 증착 과정에서 정확성과 반복 가능성을 보장하는 프로세스 모니터링 장치 (process monitoring unit) 가 포함되어 있습니다. 공정 온도 (process temper), 압력 (pressure) 및 흐름 (flow) 은 통합 모니터링 머신을 사용하여 모니터링 및 기록되므로 박막 레이어의 최적화에 대한 피드백을 제공합니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 최고급 박막 층을 보장하기 위해 다양한 기능을 포함하는 고급적이고 신뢰할 수있는 증착 원자로입니다. AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 는 다양한 프로세스 제어 및 모니터링 시스템과 함께 고급 증착 (advanced deposition) 및 어닐링 (annealing) 기술을 사용하여 다양한 박막 응용 프로그램에 최고 품질의 재료를 제공합니다.
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