판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198512

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 복잡한 제작 공정을 위해 설계된 고성능, 대규모 단일 웨이퍼 플라즈마 에치 원자로입니다. 이 장비는 처리량, 복잡성, 균일성 및 신뢰성 측면에서 탁월한 프로세스 기능을 제공하며, 고급 박막 증착, 에치, 스퍼터링 어플리케이션을 지원합니다. AMAT ENDURA 시스템은 최고 수준의 프로세스 처리량 및 제어 (Control of process throughput and control) 기능을 제공하며, 최대 구성성과 균일성을 제공합니다. 고급 가스 분배 장치 (advanced gas distribution unit), 자동 플라즈마 생성기 (automated plasma generator) 및 정밀 프로세스 제어가 가능한 챔버 형상을 사용합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 기계는 구성 가능한 다중 영역 쇼 헤드/가스 배급기 (Configurable, Multi-Zone Showerhead/Gas Distributor) 어셈블리를 통해 반응 가스를 정확하게 제어하고 광범위한 프로세스 매개변수를 설정할 수 있습니다. 쇼어 헤드 (showerhead) 어셈블리는 정적 또는 동적 격리 설계를 사용하여 플라즈마 반응 가스를 챔버 벽 (chamber wall) 과 기판 표면에 균등하게 이동하여 매우 균일 한 필름 강착, 에치 및 스퍼터링을 생성합니다. 독보적인 구성을 통해 매우 정확하고 반복 가능한 결과와 향상된 프로세스 유연성을 얻을 수 있습니다 (영문). 또한 ENDURA 도구는 이온-게터/배플 (ion-getter/baffle) 어셈블리를 사용하여 플라즈마 균일성과 균일성을 향상시키고, 더 빠른 처리량을 제공하는 사이클 타임 최적화 패키지를 제공합니다. 이 자산에는 자동 프로세스 제어 프로그램 (automatic process control program) 이 포함되어 있어 응용 프로그램 엔지니어가 실시간으로 플라즈마 프로세스 매개변수를 면밀히 모니터링하고 조정할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 모델은 산소, 염소, 아르곤 및 불소를 포함한 다양한 공정 가스를 사용하여 PECVD, RIE 및 스퍼터링을 포함한 광범위한 플라즈마 기반 처리 응용 프로그램을 가능하게합니다. AMAT ENDURA 장비는 고급 기능과 견고한 설계를 통해 가장 고급 수준의 프로세스 복잡성에서도 고품질의 박막, 에치, 스퍼터링 된 금속 필름 (sputtered metal film) 을 생산할 수 있습니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS ENDURA는 가장 고급 수준의 프로세스 복잡성에서도 고품질의 박막, 에치, 스퍼터 메탈 필름을 생성 할 수있는 고성능, 기능이 풍부한, 단일 웨이퍼 플라즈마 에치 원자로입니다. 이 시스템은 모든 박막 증착, 에치 (etch), 스퍼터 (sputter) 어플리케이션에 대한 처리량, 복잡성, 균일성 및 신뢰성 측면에서 탁월한 프로세스 기능을 제공합니다.