판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198509

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor) 는 반도체 산업을위한 다용도 및 신뢰할 수있는 도구입니다. 마이크로 일렉트로닉스, MEMS 장치 및 고급 IC 패키징을위한 고급 장치 개발에 사용됩니다. 원자로는 공정 제어 (process control) 와 안전 (safety) 을 향상시키는 견고한 설계로 고온 공정을 가능하게 합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor에는 3 개의 표준 원자로 챔버, 2 차 챔버 및 3 차 챔버가 있습니다. 주 챔버는 고온 (최대 853 ° C) 에 최적화되어 있으며 열 처리에 사용됩니다. 제 2 챔버는 일반적으로 반응성 가스에 사용되며, 측면에 선택적인 평평한 바닥 에피 택시 소스가 있습니다. 세 번째 챔버는 화학 증기 증착 (CVD) 및 스퍼터 필름 증착과 같은 증착 과정에 대한 저압 환경을 제공합니다. 원자로는 표준 질소 (N2), 아르곤 (Ar), 헬륨 (He) 및 수소 (H2) 를 포함한 많은 가스 혼합물에서 작동 할 수있다. 또한 맞춤형 화학 전구체를 수용 할 수 있으며, CHD (chemical gas deposition) 와 같은 고급 공정을 허용합니다. 원자로의 진공 수준은 디지털 폐쇄 루프 장비 (digital closed loop equipment) 와 고정밀 압력 트랜스듀서 (high-precision pressure transducer) 로 조작할 수 있습니다. 엔두라 리액터 (ENDURA Reactor) 는 웨이퍼 핸들링 (wafer-handling) 시스템도 갖추고 있어 고객이 기판을 장치에 정확하게 배치하기 쉽습니다. 그것 은 기계식 기계 를 사용 하여 매우 정확 한 "웨이퍼 '" 그리퍼' 를 특징 으로, 기판 을 정확 하고 균일 하게 배치 할 수 있다. 또한 확장 가능한 입/출력 인터페이스가 있으며, 여러 원자로와 최종 이펙터를 제어합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로) 에는 고급 제어 도구가 장착되어 있어 배치 프로세스의 상태를 실시간으로 모니터링하고 변경할 수 있습니다. 여기에는 반응 온도, 타이밍 및 기타 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 보장하는 고급 PID 알고리즘이 포함됩니다. 이 자산에는 데이터 획득 모델 (Data Acquisition Model) 과 레시피를 저장하여 프로세스 반복성의 효율성을 극대화하는 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 대용량 디스플레이를 통해 고객은 프로세스 상태를 손쉽게 모니터링할 수 있습니다 (영문). AMAT ENDURA Reactor는 다양한 처리 응용 프로그램에 적합한 안정적이고 다양한 도구입니다. 견고한 설계 및 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 프로세스 제어 및 안전성을 높여 일관성 있고 고성능 결과를 제공합니다. 또한 사용하기 쉽고, 고객에게 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있는 유연성을 제공합니다.