판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198507

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 최첨단 반도체 장치에 초정밀 웨이퍼 제작을 제공하기 위해 개발 된 풀 필드 웨이퍼 처리 원자로입니다. 이 장비는 우수한 성능을 제공하고 공장 통합을 가능하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA 원자로는 고품질 성능을 보장하기 위해 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 고급 공정 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 을 갖추고 있습니다. 제어 장치에는 자동 프로세스 조정, 패턴 제어 등의 고급 기능이 있습니다. 이렇게 하면 시스템의 출력이 안정성이 높고 일관성이 유지됩니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 웨이퍼 처리를 위해 광범위한 작동 온도 범위를 특징으로하며, 과포화 증기 환경으로 고급 구조를 형성 할 수 있습니다. 증기 환경 은 "아르곤 '원 으로 공급 되는 증기 발전기 를 통해 생성 된다. 증기 발전기 (vapor generator) 는 웨이퍼 표면의 구조 형성을 정확하게 제어 할 수있다. ENDURA는 또한 우수한 산화 속도를 제공하는 고급 전기 화학 산화 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산은 전기 화학 산화 공정 (electrochemical oxidation process) 을 사용하여 매우 효율적이며 시간당 약 5 미크론의 속도로 균일 한 박막 증착을 제공합니다. 박막 증착 속도는 전통적인 방법보다 훨씬 빠르며, 나노 스케일 구조를 형성 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 또한 다양한 반도체 재료를 처리하는 데 사용할 수있는 다양한 공정 챔버를 제공합니다. 이를 통해 Gallium Nitride 및 Silicon Carbide와 같은 재료로 고급 구조를 만들 수 있습니다. 특정 웨이퍼 및 재료에 대한 처리 환경을 사용자정의하도록 챔버를 구성할 수 있습니다. 깨끗하고 효율적인 처리 환경을 위해 AMAT ENDURA 원자로는 열 및 비 열 오염을 최소화하는 비활성 비활성 가스 전달 (inert inert gas delivery) 모델을 사용합니다. 또한 비활성 "가스 '장비 는 증착 과정 의 속도 를 높여, 처리 시간 이 더 빨라지고 질 이 좋은 결과 를 얻을 수 있다. 응용 재료 ENDURA 원자로는 안정성이 높고 유지 보수가 적도록 설계되었습니다. 시스템 구성요소는 견고하고, 시간이 지남에 따라 일관되게 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 성능 유지/최적화에 필요한 유지 보수/복구 프로토콜을 간략하게 소개하는 '포괄적인' 문서 패키지가 함께 제공됩니다. ENDURA 원자로는 반도체 및 나노 기술 웨이퍼 처리 응용 분야에 적합한 선택입니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 및 자동 머신 (automated machine) 을 통해 고품질 웨이퍼 제작을 신속하게 돌릴 수 있습니다. 이 도구는 또한 나노 스케일 (nanoscale) 구조의 형성을 월등히 제어하는 깨끗하고 효율적인 처리 환경을 보장합니다.