판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198501
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 현대 고급 원자로는 비교할 수없는 제어 및 최적화를 통해 정확한 나노 스케일 재료 시스템을 만들도록 설계된 고성능 PVD (High-Throughput Physical Vapor Deposition) 도구입니다. 특허를 획득한 CMP 기반 PVD 기술을 통해 AMAT ENDURA는 매우 깨끗하고 낮은 진공 환경에서 여러 재료의 고성능, 단단계 증착을 수행합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 오염을 크게 줄이고 필름 스택 설계에 대한 수지 및 원자 수준의 제어를 가능하게 하여 비용 효율적인, 고품질 재료 및 장치를 생산합니다. ENDURA는 멀티 챔버 장비를 갖추고 있으므로 고급 처리 기능을 통합 할 수 있습니다. 각 챔버에서, 빔을 정확하게 정렬하고 집중시키기 위해, 4 개의 V 형 전자 빔이 강력한 자석 어셈블리를 통해 라우팅된다. 이것은 기판 전체에 걸쳐 우수한 균일성을 제공하여, 매우 큰 기판 면적에 걸쳐 증착율을 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 가변 전력 분수 공간 충전 필라멘트 (variable-power fractional space-charge filaments) 를 갖추고 있으며, 전자 빔을 정확하게 펄싱하고, 단단한 장치 요구 사항을 충족시킬 수있는 효율적인 증착 과정을 만들 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 높은 처리량, 낮은 오염, 높은 균일성과 같은 기존 시스템에 비해 많은 이점을 제공합니다. 각 챔버 (Chamber) 의 온도와 압력, 필름 구성 등을 정확하게 제어 할 수있는 고급 센서 (Advanced Sensor) 와 마이크로 조작기 (Micro-Manipulator) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 최적화하고, 기판 재료를 가장 잘 사용하고, 폐기물을 최소화할 수 있습니다. 또한, 온보드 컴퓨터 제어 장치 (Onboard Computer-Controlled Unit) 를 하나의 주기로 여러 프로세스를 수행하도록 프로그래밍 할 수 있으며, 이는 전체 프로세스 시간을 줄일 수 있습니다. AMAT ENDURA는 매우 다재다능하고 효율적인 PVD 기계이며 나노 재료, 반도체 및 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 장치 생산에 이상적입니다. 연구, 프로토타입, 대규모 애플리케이션에 적합한 APPLIED MATERIALS ENDURA는 수많은 업종에 엄청난 가치와 생산성 향상을 제공합니다.
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