판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198500

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ® Reactor는 다양한 기판에서 다양한 화학 공정을 수행하도록 설계된 특수 장비입니다. 이 유형의 원자로는 반도체, PV (photovoltaic) 및 박막 증착 산업에서 사용되어 웨이퍼 (wafer) 또는 기타 평평한 기판에 필름 층을 만듭니다. AMAT ENDURA® Reactor는 화학 증기 증착 (CVD) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 처리를 모두 수행 할 수 있습니다. 이 기계의 가스 캐비닛에는 최대 15 개의 공정 모듈 (process module) 이 장착되어 있으며, 유연성을 제공하며, 동일한 공정 챔버에 다른 가스와 화학 물질을 사용할 수 있습니다. "가스 '배달 및 분배 는 정교 한" 밸브', "오리피이스 '및 질량 의 흐름" 컨트롤러' 를 이용 하여 공정 에 필요 한 "가스 '를 정확 하고 균일 하게 공급 한다. 기판 은 "챔버 '에 넣어지고 증착 과정 이 시작 되기 전 에 원하는 온도 로 가열 된다. 공정에 필요한 모든 가스가 도입 된 후, RF 전력, 가스 화학, 공정 압력의 조합을 사용하여 적절한 혼합물을 달성한다. 원자로에 의해 증착 된 필름의 균일 성 (uniformity) 은 증착 과정 전반에 걸쳐 균일 한 압력과 온도를 유지하는 데 크게 의존한다. 이 균일성을 달성하기 위해, 원자로에는 기판 온도를 모니터링하기 위해 피로미터 (pyrometer) 가있는 쿼츠 뷰 포트 (quartz viewport) 가 장착되어 있습니다. 원자로는 또한 활성 (Active) 과 수동 (Passive) 가열 방법을 조합하여 균일하고 꾸준한 기판 온도를 보장합니다. RF 유도 및 전자 빔 선형 운동과 같은 활성 가열 방법을 사용하여 기판을 정확하게 가열합니다. 응용 재료 ENDURA ® 원자로 (APPLIED MATERIALS ENDURA ® Reactor) 는 광범위한 응용에 거의 모든 공정 화학 및 최적의 원자로 조건을 사용할 수있는 다용도 기계입니다. 따라서 필수 박막 증착 프로세스에 대해 고객에게 유리한 선택이 됩니다. 원자로는 RF 전력, 가스 화학 및 공정 압력의 조합을 사용하여 신뢰할 수있는 반복 가능한 처리, 균일 한 증착, 레이어 커버리지 및 레이어 두께를 보장합니다.