판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198499

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 고급 반도체 처리를 위해 설계된 다용도, 고용량, 완전 자동화 원자로입니다. 이 다기능 원자로를 사용하면 단일 작업 스테이션에서 증착, 에칭, 청소 작업을 동시에 수행할 수 있습니다. 이 장비에는 AMAT 특허를받은 Aeroflex 노즐 (Aeroflex nozzle) 디자인이 장착되어 있으며보다 효율적이고 정확한 필름 증착을 위해 균일 한 입자 분배 및 정확한 프로세스 제어가 보장됩니다. 이 기능을 사용하여 AMAT ENDURA는 매우 얇은 필름뿐만 아니라, 웨이퍼에 대한 필름 두께와 균일성을 최적화하는 메커니즘을 제공 할 수 있습니다. "가스 '의" 가스' 분포 는 정교 한 "가스 '관리 장치 를 사용 하여 전체 기판 표면 에 균일 하게 행해지며," 가스' 의 흐름 측정 은 높은 정확도 로 유지 된다. 또한, APPLIED MATERIALS ENDURA에는 최대 8 가지 유형의 원자로 매개변수를 관리 할 수있는 자동 공정 제어 하드웨어 모니터링 머신이 장착되어 있습니다. 여기에는 압력, 흐름, 온도에 대한 실시간 피드백 스트림이 포함되며, 이를 통해 정확하고 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 또한 레시피 기반 소프트웨어 플랫폼 (recipe-based software platform) 을 사용하여 사용자는 원하는 프로세스 레시피를 사전 프로그래밍할 수 있으며 향후 사용자를 위해 프로세스 매개변수를 저장할 수도 있습니다. 또한, 엔두라 (ENDURA) 는 다양한 원자로 구성과 함께 사용될 수 있으며, 광범위한 프로세스 애플리케이션에서 사용할 수 있습니다. 자산은 순차적 (sequential) 또는 클러스터형 (clustered) 배열에 사용되거나 기존 또는 새로운 구성 시스템에 통합될 수 있습니다. 또한, 더 작은 발자국을 가진 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 큰 공정 챔버를 자랑하여 더 큰 공정 볼륨을 용이하게합니다. 마지막으로, 이 모델에는 효율적인 대피 시스템, 여러 터보 분자 펌프 및 고출력 히터가 포함됩니다. 이 높은 수준의 엔지니어링을 통해 AMAT ENDURA는 고급 제작의 한계를 높일 수 있으며, 처리량 향상, 프로세스 정확도 향상, 수율 향상 등의 기능을 제공합니다. 응용 재료 (APPLIED MATERIALS) 엔두라 (ENDURA) 는 광범위한 증착 및 에칭 어플리케이션을 위한 강력하고 유연한 솔루션을 제공하여 고급 반도체 처리에 이상적인 솔루션입니다. 종합적인 장비 기능과 효율적인 프로세스 제어 기능을 갖춘 엔두라 (ENDURA) 는 복잡한 프로세스 요구 사항을 충족하는 향상된 솔루션을 제공합니다.