판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198496
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor 또는 AMAT ENDURA는 최첨단 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 장비입니다. 이 제품은 고품질 유전체 필름 (dielectric film) 을 만드는 데 사용되며, 고급 재료가 필요한 새로운 메모리 및 논리 장치 응용 프로그램 (logic device application) 에 사용됩니다. 응용 재료 (APPLIED MATERIALS) 엔두라 (ENDURA) 원자로는 다양한 혁신적인 기능과 기능을 통해 많은 고급 필름 증착 프로세스에 이상적인 도구를 제공합니다. 하나의 시스템에서 증착, 에치, 임플란트 애플리케이션을 지원하는 다중 프로세스 플랫폼을 사용합니다. 이것 은 여러 가지 다른 "웨이퍼 '재료 와 공정 을 더 많이 사용 할 수 있게 해 주며, 그것 은 여러 가지" 응용프로그램' 에 적합 하다. 원자로는 온보드 디지털 컨트롤러 (on-board digital controller) 와 정교한 선박 적재 장치를 사용하여 쉽고 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 고급 자동화 기능을 통해 웨이퍼를 손쉽게 로드, 언로드할 수 있으며, 다중 계층 증착 (multiple-layer deposition) 및 에치 (etch) 어플리케이션도 지원합니다. ENDURA는 또한 매우 효율적이고 사용자 정의 가능한 전기 기계 필름 증착 기계를 갖추고 있습니다. 균일성, 제어 및 증착률 향상, 합리적인 전력 소비를 가진 영화를 제작 할 수 있습니다. 또한 XYZ 축 단계 (XYZ-axis stage) 를 포함하여 공정 자동화를 허용하며, 증착 및 에칭 프로세스 중 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 또한이 도구는 정밀 RF (Radio Frequency) 모니터링을 통해 사용자가 RF 전원을 정확하게 제어하고 전체 증착 프로세스를 모니터링 할 수 있습니다. 이렇게 하면 배치 레이어 두께와 구성의 일관성 (Consistency) 과 균일성 (Unifority) 뿐만 아니라 프로세스 기능이 향상됩니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 현장 온도 조절을 제공하여 생산 중 공정의 온도를 정확하게 모니터링 및 조정할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT ENDURA Reactor는 반도체 제조를위한 강력한 퇴적 자산입니다. 고급 기능 제품군은 고품질 유전체 필름 (dielectric film), 기타 메모리 (memory) 및 로직 장치 응용 프로그램 (advanced materials) 을 만드는 데 이상적인 도구입니다. 이 모델은 다양한 금속 필름 (metal film) 과 유전체 필름 (dielectric film) 의 효율적이고 통제 된 처리를 가능하게하며 일관된 품질 및 증착력을 제공합니다.
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