판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198495

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 차세대 마이크로 칩 생산에 균일성과 일관된 결과를 제공하기 위해 설계된 고정밀도, 초정밀, 다중 프로세스 제작 장비입니다. 밀도를 통해 최적화하고 직경을 통해 감소시켜 높은 수율을 지원하는 높은 안정성과 처리량 최적화 (throughput-optimized) 구조를 생산할 수 있습니다. AMAT ENDURA 는 멀티 존 (multi-zone) 프로세스 적응 환경을 통해 고객이 원하는 목표를 달성하기 위해 시스템 매개변수를 세밀하게 조정하고 최적화할 수 있도록 지원합니다. 여기에는 고급 현장 APPLIED MATERIALS ENDURA 전기 화학 공정과 어닐링을위한 빠른 열 공정 (RTP) 이 포함됩니다. 리모콘 플레이트 히터 (remote-controlled plate-heater) 와 단면 공압 제어 앵커 (single-side pneumatically-controlled anchor) 가있는 고 로드, 가변 필드 생산 챔버가 있어 프로세스 기판의 정확한 로드 및 언로드가 가능합니다. 원자로 (reactor) 는 압력, 온도 및 기타 프로세스 조건을 조절하여 정확성과 프로세스 제어를 보장하기위한 독특한 닫힌 루프 제어 장치 (closed-loop control unit) 를 가지고 있습니다. 또한 이 머신 (machine) 을 사용하면 프로세스 시퀀스와 레시피를 저장하고 읽어들일 수 있으며, 각 배치에서 처리되는 웨이퍼 수에 관계없이 이상적인 조건을 쉽게 복제할 수 있습니다. 또한 추가적인 VIA (Via Architecture), 유전체 및 도체 재료 선택, 피쳐 크기 등과 같은 고객의 요구에 맞게 공구를 사용자 정의할 수 있습니다. 엔두라 (ENDURA) 는 뛰어난 기판 보존과 자산 통합을 제공하는 낮은 입자 생성 (low particle generation) 및 견고한 트랙 도구를 통해 안정적이고 효율적입니다. 이 모델은 중요한 프로세스 매개변수를 유지하고 제작된 피쳐의 이동과 변형을 방지하는 초미세 동적 프로세스 제어 (ultra-fine dynamic process control) 를 제공합니다. 이것은 반복성을 보장하고 제어가 좋지 않아 입자 흘림을 방지합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 생산률이 빠른 안정성, 균일성 및 고정밀 마이크로 칩을 만드는 완벽한 장비입니다. 생산량 및 성능에 최적화된 안정적이고 일관된 결과를 제공할 수 있습니다 (영문). 이 시스템은 프로세스 적응 환경, 클로즈드 루프 (closed-loop) 제어 및 낮은 입자 생성을 통해 고급 (advanced) 제작에 적합하며 고객의 요구를 충족할 수 있습니다.