판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198491

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 웨이퍼 레벨 증착 및 에치 프로세스를위한 다용도, 비용 효율적인 플랫폼입니다. 혁신적이지만 신뢰할 수있는 아키텍처와 소프트웨어를 선택할 수있는 프로세스 레시피가 특징입니다. AMAT ENDURA 원자로는 광범위한 증착 및 에치 (etch) 공정을 처리하도록 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 물리적/화학적 연산의 순서를 빠르게 선택하고 수정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로의 견고한 설계 및 아키텍처는 지속적이고 높은 처리량을 제공하며 기판 전체에 균일 한 성능을 제공합니다. 이것 은 더 우월 한 물질적 융통성 을 제공 하도록 설계 되어 있으며, 복잡 한 금속 합금 의 증착 뿐 아니라, 단단한 물질 과 부드러운 물질 을 모두 에칭 (etching) 할 수 있게 해 준다. D.C., I.F. 및 R.F.를 포함한 확장 된 범위의 플라즈마 소스는 복잡한 프로세스 및 hi-k 유전체에 대한 탁월한 균일성을 허용합니다. ENDURA 원자로는 또한 O2, Ar, Xe 및 He를 포함한 다양한 소스 가스와 많은 추가 화학 물질을 지원하도록 설계되었습니다. 원자로의 모듈 식 설계는 다른 에치 (etch) 와 증착 챔버 (deposition chamber) 를 구성할 수있는 유연성을 제공하며, 심지어 하나의 시스템에서 다른 화학 물질을 사용할 수 있습니다. 직관적인 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 소프트웨어 제품군에는 프로세스 레시피를 지원하는 다양한 사용자 친화적 인 기능이 포함되어 있습니다. 사용자는 물리적/화학적 연산 순서를 빠르게 선택하고 수정할 수 있으며, 따라서 AMAT ENDURA 원자로는 하드웨어를 변경하지 않고도 다른 프로세스를 쉽게 지원할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 프로세스를 전환할 때 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 원자로는 프로세스 기능 외에도 몇 가지 정교한 모니터링 및 보드 진단 도구를 사용하여 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 원자로의 온보드 센서는 실시간 피드백을 제공하여, 최적의 성능을 위해 전류, 압력, 온도 및 기타 매개변수를 조정할 수 있습니다. 엔두라 원자로 (ENDURA reactor) 는 공정 환경을 유지하고 입자를 낮은 수준으로 유지하기 위해 만들어져 더 높은 수율을 제공합니다. 또한, 시스템은 프로세스 환경을 자동으로 모니터링하여 잘못된 프로세스 결과 (incorrect process results) 로 이어질 수 있는 모든 변경 사항을 감지하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 웨이퍼 레벨 증착 및 에치 프로세스를위한 다용도, 신뢰성 및 비용 효율적인 플랫폼입니다. 광범위한 운영 범위, 사용자 친화적 (user friendly) 소프트웨어, 철저한 모니터링 시스템을 통해 다양한 wafer deposition 및 etch 프로세스를 손쉽게 선택할 수 있습니다.