판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198490

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198490
웨이퍼 크기: 12"
Carriers, 12" Part number: 0040-53817.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 박막 증착에 사용되는 고급 물리 증기 증착 (PVD) 장비입니다. 이 시스템은 유전체, 전도성 또는 자기 박막이있는 표면의 고정밀 코팅을 위해 설계되었습니다. AMAT ENDURA는 탁월한 처리량, 작업 거리 연장, 고급 프로세스 제어 도구 (Advanced Process Control Tools) 를 통해 박막 증설을 위한 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 응용 재료 엔두라 (ENDURA) 는 강력하고 효율적인 물리적 증기 증착 장치로 다양한 기능을 제공합니다. 최대 20-in/min, 넓은 프로세스 영역 (11x12x50 인치) 및 최대 200-in/min 이동 속도의 높은 프로세스 처리량을 제공합니다. 또한, ENDURA에는 프로세스의 중단 없이 기판을 제거 할 수있는 독특한 EWD (extended working distance) 기능이 제공됩니다. 또한 다른 PVD 시스템보다 증착률이 높습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 도량형, 프로세스 제어 및 분석 기능이 통합된 정밀 박막 증착을 가능하게 합니다. 또한 향상된 광학 탐지기 (optical detection machine) 를 사용하여 정확하고 반복 가능한 박막 두께와 균일성을 보장합니다. 또한 AMAT ENDURA에는 닫힌 루프 프로세스 제어, 현장 광학 반사 측정 및 제어 프로세스 플랫폼이 장착되어 있습니다. 이를 통해 레시피 설정, 정밀 배치 및 실시간 프로세스 모니터링이 용이합니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 정밀 기능 외에도 운영자 및 프로세스 보호를위한 다양한 안전 기능을 제공합니다. 예를 들어, 운영자 보호를위한 완전 밀폐 된 이중 점 레이저 안전 커튼 (dual-point laser safety curtain) 과 기판 처리 도구의 안전 쉴드 (safety shield) 가 있습니다. ENDURA는 유전체, 전도성 및 광학 박막, 포토 esist 코팅, 나노 기술 등 다양한 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. '신빙성 있는 성능' 과 '효율적인 처리량' 은 모든 현대 산업 제조 시설에 적합한 선택입니다.
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