판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198489

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198489
Front cover wet robot Part number: 0040-47757.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제조 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 원자로입니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 재료 층을 에치하고 배치하는 데 사용되는 도구입니다. AMAT ENDURA는 주로 컴퓨터 칩의 트랜지스터, 커패시터 및 기타 부품을 제조하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA는 엔두라 에치 (ENDURA ETCH) 플랫폼을 기반으로 하며, 모듈식 아키텍처와 가동 시간과 생산성을 극대화하기 위해 설계된 다양한 고급 프로세스 모듈을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 Advanced, Dual 및 Multi-zone의 세 가지 구성으로 제공됩니다. 각 구성은 Wafer 크기, 복잡성, 처리량 등과 관련된 특정 고객 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA는 etch, strip 및 gap-fill 프로세스와 특수 증착을 수행 할 수 있습니다. 고급 (Advanced) 구성은 정밀도가 높은 프로세싱을 위해 설계되었으며, 500mm 버전에서는 매우 정확하고 기능 제어가 뛰어난 임계 치수 트렌치를 가져올 수 있습니다. 이중/다중 영역 구성은 처리량 및 운영 확장성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA의 모듈식 아키텍처를 통해 시스템을 구성하고 업그레이드할 수 있습니다. 고객은 다양한 옵션 중에서 선택해서, 구성을 특정 요구 사항과 향후 성장에 맞게 조정할 수 있습니다. 다양한 프로세스 챔버 (process chamber) 와 소스 모듈 (source module) 을 통해 다양한 프로세스와 재료를 지원할 수 있습니다. 고급 ENDURA 시스템에는 공정에 들어가면서 각 웨이퍼의 정확성을 검사하기 위해 활성 광원을 사용하는 자동 분광사진계 (automated spectrophotometer) 가 장착되어 있습니다. 또한 Closed-loop in-situ 프로세스 제어, 자동 Wafer 클리닝 및 컨디셔닝, 고급 예측 및 스케줄링 (Maintenance and downtime) 을 통해 유지 보수 및 다운타임을 최소화할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 고급 반도체 장치의 트랜지스터, 커패시터 및 기타 컴포넌트 제작에 사용되는 매우 안정적이고 효율적인 도구입니다. 모듈식 아키텍처와 다양한 옵션과 공정 챔버 (Process Chamber) 를 갖춘 AMAT ENDURA는 최신 반도체 제조업체의 요구에 맞게 구성 및 업그레이드할 수 있도록 설계되었습니다.
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