판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198487
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 광범위한 산업 응용 분야에서 재료의 높은 처리량을 처리하도록 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 그것은 금속, 유전체 및 반도체 재료를 포함하여 높은 가치의, 처리하기 어려운 재료의 epitaxy (EPI) 및 증착에 이상적입니다. AMAT ENDURA는 재료 준비 작업의 효율성과 생산성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA의 주요 기능에는 모듈식 설계, 고급 EPI 프로세스 제어 및 조정, 통합 자동 장비 진단 및 보고가 포함됩니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 는 기판에 여러 층의 증착을 수행하기 위한 능률적이고 효율적인 설정 (Setup) 을 제공하며, 하나의 원자로가 다양한 프로세스 단계를 관리합니다. ENDURA 자동화를 통해 수작업 로드 (manual loading), 언로드 (unloading), 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 등 준비 프로세스에서 여러 단계를 제거하여 보다 효율적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. EPI 공정 조절 및 튜닝 (tuning) 을 통해 증착 과정에서 화학 환경 및 입자 분포를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합된 자동 시스템 진단 및 보고 (automatic system diagnostics and reporting) 는 프로세스 결과에 대한 쉽고 자동화된 피드백을 제공하여 운영자가 신속하고 효율적으로 문제를 파악할 수 있도록 합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 다재다능하고 견고한 CVD 원자로로, 다양한 재료 처리 응용 분야에 적합합니다. 사용자 친화적이고 쉽게 구성할 수 있도록 설계되어 있어 R&D (R&D) 및 프로세스 제어 (Process Control) 용도로 이상적인 제품입니다. AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 는 단일 유닛 내에서 다양한 증착 프로세스를 지원할 수 있으며, 25mm ~ 410mm 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, APPLIED MATERIALS ENDURA는 유연하고 정확한 온도 조절이 가능하여 고가 금속 및 유전체 필름의 고온 강화를 가능하게합니다. 엔두라 (ENDURA) 는 광범위한 산업 물질의 높은 처리량과 일관된 처리를 가능하게하도록 설계된 강력하고 다양한 화학 증기 증착 원자로입니다. 자동화된 시스템 진단 (automated machine diagnostics), 보고 (reporting), 고정밀 온도 제어 (high-precision temperature control) 등의 고급 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 효율적이고 안정적인 처리 솔루션을 제공합니다.
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