판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198486

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 고급 IC 기술이 사용하는 고성능 재료를 생산할 수 있도록 설계된 차세대 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 원자로는 이산화 화학 증착 (chemical dioxide deposition) 을 포함하여 고정밀 기질 처리와 저k 물질을 증착 할 수있는 기능을 제공합니다. 이를 통해 장치 제조업체는 기존 방식보다 더 나은 반도체 장치를 생산할 수 있으며, 장치 성능과 안정성을 향상시킬 수 있습니다. AMAT ENDURA는 고성능 반도체 재료를 생산하는 비용 효율적인 방법이며, 시간당 최대 12 개의 웨이퍼 런이 가능합니다. low-k 재료는 회로 지연을 줄이고 전기 성능을 향상시키기 때문에 생산에 low-k 재료를 추가하는 것이 중요합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 이러한 로우-k 물질을 매우 높은 제어 및 정확도로 기판에 배치할 수 있으며, 효율적이고 균일한 상호 연결 간격으로 인해 장치의 전기 성능이 향상됩니다. 원자로 내 "플라즈마 '환경 은 또한" 보이드' 가 없는 더 균일 한 층 을 만들어 내는 데 유용 하여, 보다 일관성 있고 믿을 만한 성능 을 발휘 할 수 있다. PECVD 프로세스의 고정밀 특성은 정전기 충전을 제거하는 데 도움이되며, 이는 섬세한 장치 구조를 손상시킬 수 있습니다. ENDURA는 고급 파우더 코트 전송 암을 사용하여 입/출력 인터페이스 (I/O) 에서 기판으로 신호를 직접 전송합니다. 이는 PECVD 프로세스의 정확도와 속도를 높이고, 여러 기판을 병렬로 빠르게 처리함으로써 명령을 잘못 이해하거나 장치 구조를 손상시킬 위험을 줄입니다 (영문). 또한, 파우더 코트 트랜스퍼 암은 기판에 대한 이온 손상의 양을 줄입니다. 또한, 암 은 "이온 '손상 을 감소 시키는 것 과 더불어 기판 의 온도 를 더 잘 조절 해 주며, 이것 은 완성 된 장치 의 생산량 과 질 을 향상 시키는 데 기여 할 수 있다. 그렇다. 일관되게 안정적인 프로세스를 유지하기 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 Advanced Flow Controller를 사용합니다. 여기에는 배기 스트림 (exhaust stream) 으로부터의 기판의 실시간 격리 (real-time isolation) 가 포함되어 있어 프로세스의 변수 수를 줄여 보다 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 고급 흐름 컨트롤러 (Advanced Flow Controller) 를 사용하면 PECVD 프로세스의 온도를 제어하여 보다 정확하고 제어된 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT ENDURA는 장치 제조업체에 다양한 이점을 제공하는 고급 PECVD 원자로입니다. 고성능 재료 (low-k material) 는 물론, 정확성과 정확도가 높아 전기 성능이 향상됩니다. 또한 고급 흐름 컨트롤러 (Advanced Flow Controller) 를 사용하면 온도 및 기판 관리를 개선하여 보다 일관되고 안정적인 생산 프로세스를 제공합니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 고급 반도체 산업을위한 귀중한 도구로서, 복잡하고 향상된 장치를 만들 수 있습니다.