판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198485
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 박막 증착 공정을 위해 설계된 고성능 고급 원자로입니다. 그것은 뛰어난 수준의 영화 성장 균일성, 프로세스 제어 및 예측 가능한 필름 결과를 제공하기 위해 설계되었습니다. AMAT ENDURA 원자로는 고급 화학 성분을 가진 고품질 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 내부 챔버 (inner-chamber) 프로세스를 사용하여 얇은 필름의 비시야 증착을 제어합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA는 다른 여러 응용 프로그램 중에서 박막 광전자, 광전자, 평면 패널 디스플레이, GaN 트랜지스터 및 MEM과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 그것 (chemical reaction) 과 이온 보조 (ion-assisted) 공정을 모두 활용하여 필름의 화학 성분을 일관되게 유지하면서 다양한 얇은 필름을 퇴적시킵니다. 독점적 인 열 플럭스 제어 시스템은 또한 정확한 온도 조절을 허용합니다. ENDURA의 고급 RF 기능은 프로세스 제어를 제공하며 증착 균일성을 향상시킵니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 실내 오존 생성 시스템을 사용하여 CVD 및 PVD 프로세스에 사용되는 오존 생성 구성 요소의 필요성을 줄입니다. 이로 인해 오존 구축으로 인한 잦은 유지 보수가 필요합니다. 고급 데이터 획득 (Advanced Data Acquisition) 기능은 인챔버 (In-Chamber) 프로세스 정보를 최대한 파악하여 프로세스 제어를 강화합니다. 다른 박막 증착 시스템과 비교할 때, AMAT ENDURA는 그 기능 및 신뢰성을 두드러집니다. 이 기능에는 정확한 프로세스 제어, 고급 균일성, 처리량 증가, 유지 관리 감소, 프로세스 반복 능력 향상이 포함됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA를 사용하면 친환경적이고 에너지 효율적인 디자인에서 탁월한 영화 품질을 얻을 수 있습니다. 첨단 기능으로 인하여 모든 유형의 박막 증착 (Thin film deposition) 프로세스에 적합하며, 많은 산업에 필수적입니다.
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