판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198483

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 고급 기술 플랫폼의 글로벌 리더 인 AMAT가 설계 및 제조 한 고성능 원자로입니다. 이 최첨단 원자로는 박막 층 (Thin-film layer) 과 반도체 기판의 다른 재료를 쉽게 증착 할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA는 최대 200 nm/min의 증착율로 산화물, 폴리 실리콘, 질화물 및 금속 기반 재료를 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA의 다용도 공정 챔버에는 단일 소스에서 최대 4 개의 전구체에 이르기까지 여러 소스 구성이 장착 될 수 있습니다. 또한, 원자로는 3 개의 플라즈마 소스와 1 개의 물리적 증기 증착 소스에 적용 될 수있다. ENDURA 원자로는 여러 온도 조절 구역을 갖추고 있으며, 정확한 온도 조절 및 기판 균일성을 가능하게합니다. 공정 컨트롤러 (Process Controller) 는 기판에 다양한 재료를 쉽게 증착 할 수 있도록 최대 9 개의 온도 영역을 제공합니다. 이 프로세스 컨트롤러는 또한 기판 증착 프로세스를 더욱 구체화하기 위해 최대 32 단계의 추가 레시피를 지원합니다. 원자로의 성능을 향상시키기 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 AMAT ENDURA EQ 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 고급 소프트웨어는 각 프로세스 매개변수를 모니터링하고, 원자로 작동에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 응용 재료 ENDURA는 또한 일련의 고급 안전 기능을 자랑합니다. 원자로 는 반도체 산업 이 정한, 엄격 한 안전 규정 을 충족 시키도록 설계 되었다. 예를 들어, 원자로의 외관은 Class 1000 청소실로 둘러싸여 있습니다. 또한, ENDURA 원자로에서 1.3 Pa cc/sec의 누출률이보고되었다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA에는 긴급 차단 스위치와 원자로가 안전하지 않은 온도 수준에 도달하면 울리는 경보가 있습니다. 다양한 반도체 응용 분야에 이상적인 AMAT ENDURA 원자로는 DRAM, SRAM, NOR, NAND 및 RMI의 생산에 사용됩니다. 이 다용도 원자로 는 여러 가지 "칩 '설계 와 크기 의 제작 에 사용 될 수 있다. APPLIED MATERIALS ENDURA는 컴포넌트, 3D 구조 및 패키징을 포함한 광범위한 프로세스 기술도 지원합니다. 전반적으로 ENDURA 원자로는 우수한 성능, 다용도, 안전성을 제공하므로 다양한 반도체 애플리케이션에 적합합니다. 최고 수준의 업계 표준을 충족하면서 운영 속도를 극대화할 수 있는 안정성, 최첨단 설계, 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 입니다.