판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9190959

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 정확한 두께와 균일성을 정확하고 얇은 필름 증착을 제공하도록 설계된 CVD 기반 (Chemical Vapor Deposition) 박막 증착 장비입니다. AMAT ENDURA 시스템은 균일성과 적합성이 뛰어난 일관성 있고 안정적인 박막 (Thin Film) 레이어를 생산할 수 있는 고급, 높은 속도, 높은 처리량 솔루션입니다. 이 장치의 주요 응용 분야에는 유전체 필름 증착, 장벽 레이어, 수동화 레이어 및 etch 정지 레이어가 포함됩니다. 응용 재료 엔두라 (ENDURA) 는 원하는 박막을 전달하기 위해 3 가지 주요 구성 요소 (로드 보드, 반응 선박 및 제어 기계) 로 구성됩니다. 적재 "보드 '는 기질 을 보유 하여 반응 용기 로 수송 하는 일련 의" 클램프' 로 이루어져 있다. 반응 용기는 공구의 가장 큰 성분이며, 일반적으로 2 개 또는 3 개의 수냉식 전극을 포함하는 큰 원통형 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 로 구성되며, 챔버 내부에 수백 개의 다이아몬드 팁 전극이 포함되어 균일하고 음의 정전기장을 만듭니다. ENDURA 자산의 제어 모델을 사용하면 전체 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 여기에는 반응 용기에 대한 압력, 온도, 가스 유량 (gas flow rate) 과 같은 매개변수 설정과 전극에 대한 전력 보상이 포함됩니다. 또한, 반응 용기의 온도, 전극의 수, 간격, 기질 수송 속도 등을 필요에 따라 조정 할 수있다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 유기 및 무기 재료를 포함한 다양한 기판에 균일성과 적합성을 갖춘 얇은 필름을 신속하게 증착하도록 설계되었습니다. 이 장비는 또한 다른 유사한 시스템보다 더 높은 증착률을 달성 할 수 있으며, 증착율은 시간당 최대 10 마이크로 미터 (µm) 입니다. 이 시스템은 매우 반복 가능하고 재현 가능한 프로세스 결과 (process result) 를 달성하여 박막 증착 과정의 정확성과 정확성을 보장합니다. 균일성 및 공정 반복성을 위해 AMAT ENDURA에는 공정을 모니터링하는 여러 내장 장애 안전 (failsafe) 기능 (예: 과열 보호 장치 및 센서 세트) 이 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA는 고품질 박막 증착이 필요한 산업에 이상적인 다목적 동적 기계입니다. ENDURA 툴은 우수한 프로세스 결과, 우수한 균일성 및 적합성, 우수한 증착율, 다양한 자동 failsafe 기능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 자산은 고품질 박막 제품의 개발 및 제조에 이상적인 솔루션입니다.