판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9182273
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 반도체 및 기타 공정 산업의 다양한 응용 분야에 사용될 수있는 멀티 챔버 장비입니다. 원자로 (Reactor) 는 고온/압력/진공 호환 작동, 플라즈마 기반 증착 솔루션 등 다양한 기능을 갖춘 고품질 제조 프로세스를 지원합니다. 이 시스템은 제작을 위한 소재 (material) 의 선택과 조합에 있어 높은 수준의 유연성을 제공합니다. AMAT ENDURA Reactor의 챔버는 고급 금속 및 재료의 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기술이 적용되어 프로세스 변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 원자로에는 공정의 중단없이 관측하기 위해 챔버 (Chamber) 상단, 하단, 측면에 큰 창문이 장착되어 있습니다. 단위의 커패시터는 입자를 제거하는 데 도움이되고, 전극에 전류를 공급합니다. 챔버의 온도는 수동으로, 자동으로 제어되는 세라믹 분할 히터 (ceramic split-heater) 에 의해 제어됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로에는 유도 결합 플라즈마 소스와 결합하여 매우 효율적인 플라즈마 환경을 만드는 전자 사이클로트론 공명원 (electron cyclotron resonance source) 이 제공됩니다. 효율적인 플라즈마 환경을 통해 광범위한 매크로 플라즈마 기반 재료를 증착 할 수 있습니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 에는 기판 물질의 표면에 공정 가스를 정확하게 분배하는 가스 분배기 (gas distribution machine) 도 제공된다. 이 도구를 사용하면 가스 전 여과 및 모니터링 기능도 쉽게 수행할 수 있습니다. ENDURA 원자로는 매우 사용자 친화적이고 안전하도록 설계되었습니다. 하드웨어와 프로세스 매개변수를 손쉽게 프로그램, 모니터링, 제어할 수 있는 임베디드 (Embedded) 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 이 자산에는 통합 경보 시스템, 데이터 로깅/기록 지원, 고급 재료/전극 모니터링 기능 등 다양한 기능이 제공됩니다. 과온 보호기 및 과전류 보호기와 같은 안전 기능도 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 광범위한 제조 및 프로세스 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 다용도 설계, 사용자 친화적 인터페이스, 고품질 (HA) 구성을 통해 최신 제조 산업을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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