판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9170089

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 AMAT가 다양한 기판에서 소규모 집적 회로 생산을 위해 생성 한 원자로입니다. 원자로는 집적 회로의 생산 과정에서 3 가지 중요한 단계를 수행하도록 설계되었습니다. 첫 번째 단계 는 물리적 증기 증착 (physical vapor deposition, PVD) 인데, 이것 은 얇은 물질 의 "필름 '을 기판 에 증착 시키는 과정 이다. 이것은 기질의 전기 및 구조 특성을 향상시키기 위해 수행됩니다. 즉, 기판의 전기 및 구조 특성을 개선하기 위해 수행됩니다. 두 번째 단계는 저압 화학 증기 증착 (LPCVD) 으로, 제 2 층 물질을 퇴적시키는 데 사용됩니다. 이 두 번째 레이어는 인슐레이션 (insulation) 이나 접촉 레이어로 사용할 수 있습니다. 마지막으로, 마지막 단계는 에칭 (etching) 으로, 원치 않는 재료를 제거하고 기판에 정확한 패턴을 생성하는 데 사용됩니다. 원자로는 폴리 실리콘, 실리사이드, 코발트, 탄탈럼, 구리, 텅스텐, 안티몬, 붕소, 인 및 실리콘을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 제품은 스퍼터링 (sputtering), 복합 레이어 증착 (deposition of compound layers), 에칭 (etchings) 등 다양한 기판 및 프로세스를 처리 할 수있는 높은 수준의 유연성으로 설계되었습니다. AMAT ENDURA 원자로에는 고급 기술 기능이 장착되어 있습니다. Robistar ™ Linear Drive System, DC 호 및 마그네트론 스퍼터링 시스템, RGA 질량 분석기 및 샌드 블라스팅 및 레이저 트리밍을위한 여러 헤드가 있습니다. 원자로는 또한 반응성 가스 환경의 기판을 처리 및 제어하기 위해 DAQ (Data Acquisition System) 를 사용합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA는 효율성이 높으며 집적 회로의 제작에 정확한 결과를 제공합니다. 또한 낮은 온도 작동 범위를 가지고 있으며, 높은 생산성과 우수한 수율을 제공합니다. 원자로에는 4 개의 헤드 (head) 가 장착되어 있으며, 최대 4 개의 기판을 병렬로 처리 할 수 있으며, 대용량 생산에 비용 효율적인 선택입니다. 또한, 설계는 모듈식 (modular) 이므로, 사용자는 다른 기판을 전환하고 생산 프로세스를 필요에 맞게 조정할 수 있습니다. 안전성 측면에서 ENDURA 원자로는 CE 마크의 표준을 충족하며 인증을 받았습니다. 가스 누출, 온도 및 압력을 감지하는 여러 안전 센서가 제공됩니다. 원자로는 또한 추가 보호 계층을 위해 비상 셧다운 시스템 (emergency shutdown system) 과 비상 환기 시스템 (emergency ventilation system) 을 사용합니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 집적 회로 생산을위한 매우 효율적이고 정확한 도구입니다. 이 제품은 대용량 (high volume) 과 다양한 기판 (substrate) 으로 생산하기에 이상적인 제품입니다. 모듈성과 유연성은 다양한 시설에 이상적인 선택입니다. 또한, 안전 (Safety) 기능은 최소한의 위험으로 안정적이고 고품질의 결과를 얻을 수 있도록 합니다.