판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167421

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 PVD (physical vapor deposition) 및 CVD (chemical vapor deposition) 응용을위한 반도체 산업에 사용되는 도구입니다. 여러 개의 챔버 (chamber) 구성과 다양한 증착을 수행하는 기능을 갖춘 프로덕션 등급 처리량을 제공합니다. AMAT ENDURA는 운영 단순화, 프로세스 결과 향상, 다운타임 단축, 시장 출시 기간 단축 등 독보적인 기능을 갖춘 사용이 간편한 툴입니다. 다양한 프로세스 영역 (process zone) 간에 기판을 전송할 수 있도록 효율성을 극대화하는 혁신적인 로드 잠금 (load-lock) 설계가 특징입니다. APPLIED MATERIALS ENDURA의 주요 이점은 고성능 프로세스 헤드 (Process Head) 로, 차세대 장치 복합 금속화 및 고급 유전체 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 프로세스 헤드는 단일 챔버 (Single Chamber) 에서 최대 5 개의 프로세스 단계를 처리 할 수 있으므로 사이클 시간 (Cycle Time) 에 따라 여러 증착을 완료할 수 있습니다. 또한, ENDURA는 고효율 가스 소스 입구를 특징으로하며, 공정 챔버에서 온도 안정성이 향상됩니다. 따라서 보다 일관된 제품에 대한 wafer unifority 및 process repeatability 기능이 향상됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA를 사용하면 동일한 프로세스 챔버 내에서 낮은 결함 수준을 달성 할 수도 있습니다. 이것은 낮은 입자 오염 덕분입니다. 특허를받은 모듈 식 게이트 급식 시스템 (gate-feeding system) 을 통해 오염 된 입자 만 탈출 할 수 있습니다. AMAT ENDURA에는 멀티 챔버 (multi-chamber) 플랫폼도 포함되어 있어 특정 애플리케이션에 적합한 구성을 선택할 수 있습니다. 여러 가지 구성을 사용할 수 있으므로 설치 작업을 손쉽게 사용자 정의하고, 여러 유형의 증착을 동시에 수행할 수 있으며, 프로세스 유연성을 극대화하고, 원하는 결과를 신속하게 달성할 수 있습니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS ENDURA는 작동하기 쉬운 도구입니다. 직관적인 터치스크린 사용자 인터페이스 (Touchscreen User Interface) 를 통해 레시피 (Recipe) 생성 및 프로세스 최적화 프로세스를 단순화하고 원하는 제품 결과를 빠르고 정확하게 달성할 수 있습니다. 요약하면, ENDURA 원자로는 다양한 챔버 구성으로 생산 등급 (production-grade) 처리량을 제공하여 사이클 시간을 단축하는 여러 프로세스 단계 및 증착을 가능하게합니다. 고성능, 사용이 간편한 툴로서, 결함 수준이 낮은 반복 (repeatable) 결과를 달성하면서 작업을 단순화하고 프로세스 시간을 단축합니다.