판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9166439

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 PECVD Reactor는 반도체 산업에서 일하는 과학자, 엔지니어 및 기술자에게 강력한 도구입니다. AMAT ENDURA 5500 원자로는 플라즈마 강화 화학 증착 (PECVD) 에 가장 높은 효율성과 처리량을 제공합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500에는 원자로 양쪽에 2 개의 평행 반응 가스 분사 시스템이 있습니다. 반응물 가스 인젝터는 필요한 반응물 가스 흐름을 제공하면서 가스 혼합을 최적화하도록 설계되었습니다. 최대 작업 압력 6 바 (bar) 를 사용할 수 있으므로 광범위한 증착 프로세스가 가능합니다. 또한 ENDURA 5500 원자로는 1 ~ 6 바 사이의 압력 범위와 50 ~ 300mm 사이의 다른 웨이퍼 크기로 작동합니다. 과학자 및 엔지니어링은 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500을 사용하여 증착 과정에 대한 작동 매개 변수를 사용자 정의할 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500 원자로는 우수한 공정 제어를 제공하여 연구원들이 실험에 필요한 조건을 정확하게 정의 할 수 있습니다. 온도와 압력은 각각 0.1 ° K 및 0.1 mbar의 정확도로 모니터링됩니다. 원자로는 온도 조절이 세밀하여 기판 온도 및 균일성을 단단히 제어 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 증착 과정의 뛰어난 균일성과 반복성을 제공합니다. 이것은 웨이퍼에 균일 한 플럭스 분포 (flux distribution) 를 유지하는 고성능 플럭스 제너레이터 (flux generator) 를 사용하여 웨이퍼와 프로세스 실행 사이의 변화를 방지합니다. 엔두라 5500 (ENDURA 5500) 은 균일 한 필름 두께와 균일 한 에치 프로파일을 제공하여 수율과 처리량을 증가시켜 처리 시간을 효과적으로 단축합니다. Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 또한 강력한 설계 및 처리 기능으로, 고정밀 기판 및 장치의 안정적이고 재현 가능한 처리를 보장합니다. 원자로는 저진동 챔버 (low-vibration chamber) 를 특징으로하여 정확한 작동을 보장하고 공정 환경의 오염을 줄입니다. 원자로에는 자동 청소 시스템이 내장되어 있어, 가동 중지 시간과 오염 위험을 더욱 줄여줍니다. 전반적으로, AMAT ENDURA 5500은 강력하고 다재다능한 원자로, 반도체 증착 공정에 대한 뛰어난 공정 제어 및 균일성을 제공합니다.