판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9165615

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 장치 제작 프로세스를위한 고성능 풀 필드 배치 원자로입니다. 다양한 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 애플리케이션에 사용하도록 설계된 이 원자로는 뛰어난 프로세스 균일성과 반복성을 제공합니다. AMAT ENDURA 원자로에는 2 개의 온도 구역, 2 개의 가스 존, 2 개의 전원 및 2 개의 플라즈마 소스가 있으며, 이는 다양한 반도체 장치 구성 작업에 이상적인 조건을 만드는 데 사용될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 원자로는 터치 스크린 디스플레이 (손수 작동 가능) 또는 피트 페달 제어 (foot pedal control) 를 포함하여 고급 제어 시스템을 사용하여 탁월한 프로세스 제어 및 반복 성을 제공합니다. 이를 통해 연산자는 기판 온도, RF 전력, 플라즈마 매개변수 및 가스 흐름과 같은 매개 변수를 조정하여 최고의 프로세스 성능을 얻을 수 있습니다. 잘 설계된 이 원자로 챔버에는 멀티 챔버 아키텍처 (multi-chamber architecture) 가 있어 여러 프로세스 문제를 동시에 처리할 수 있습니다. 가스가 단단히 구성되면 여러 반응성 가스 종이있는 상태에서 안정적이고, 오래 지속되는 작동이 보장됩니다. 방벽 주위 에 튼튼 한 기계적 인 물개 를 사용 하면, 조작 중 에 진공 무결성 이 유지 된다. 원자로에는 산소, 염소, 플루오린, 아르곤, 질소와 같은 광범위한 가스가 장착 될 수 있으며, 이는 증착, 에칭 및 청소 작업에 사용될 수 있습니다. 첨단 가스 전달 시스템은 이러한 반응물 가스의 정확하고 반복 가능한 전달을 보장합니다. ENDURA 원자로에는 자동 챔버 클리닝, 온도 조절, 챔버 온도 남용 시스템 (chamber-temperature abuse system) 과 같은 다양한 전문 분야가 장착 될 수도 있습니다. 이를 통해 원자로는 프로세스 성능을 손상시키지 않고 넓은 온도 범위에서 작동 할 수 있습니다. 이 원자로는 모듈식 (modular) 과 커스터마이징이 가능하도록 설계되었으며, 추가 전원, 플라즈마 소스와 같은 컴포넌트를 추가할 수 있습니다. 이를 통해 증착, 에칭, 이온 이식, 청소 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 다양한 반도체 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 탁월한 프로세스 균일성, 반복성, 유연성, 사용자 지정 기능을 제공합니다. 또한 신뢰성이 높으며 유지 보수가 필요 없는 긴 운영 수명을 제공합니다.