판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9161792

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 고속, 대용량 생산을 위해 설계된 고효율 최첨단 원자로입니다. 이 제품은 150mm (소형화), 300mm (소형화) 의 웨이퍼를 처리할 수 있는 뛰어난 다용도 및 신뢰성 있는 플랫폼입니다. AMAT ENDURA는 고급 웨이퍼 매핑, 다중 축 웨이퍼 정렬, 다중 영역 온도 제어, 고급 전력 제어 등 최고의 프로세스 품질을 보장하는 고급 기술을 사용합니다. 이러한 기능을 통해 APPLIED MATERIALS ENDURA는 대용량 처리량 및 고정밀 프로세스 제어에서 업계 선두가 되었습니다. 엔두라 (ENDURA) 는 항공 우주 등급 알루미늄 및 스테인리스 스틸 부품으로 만들어져 강력하고 견고한 구조를 제공합니다. 이것은 wafer 매핑 및 정렬, HDTV 검사, 산화, 증착 및 에칭과 같은 프로세스 동안 50 개 이상의 다른 프로세스를 수행 할 수있는 매우 지능형 wafer 처리 제어 소프트웨어와 결합됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA를 사용하면 높은 정밀도로 고품질 실리사이드 및 에피 택시 단계를 달성 할 수 있습니다. AMAT ENDURA의 가장 인상적인 기능 중 하나는 모든 기판에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하는 용량입니다. 이것은 기판 매핑 및 정렬의 이중면 (dual-side of substrate mapping and alignment) 을 통해 이루어지며, 이는 웨이퍼 양쪽에 일관된 결과를 보장합니다. 또한, 웨이퍼 이동 서브시스템은 매우 정확하고 정확한 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 동작이 가능한 고속 DC 모터를 특징으로하여 프로세스를 더욱 일관되게 만듭니다. 고급 열 검증 시스템 (Advanced thermal verification system) 은 전체 공정 챔버에서 균일 한 온도를 유지하고, 다른 기판 사이의 온도를 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리 단계에 의해 발생하는 열 변이 (thermal variation) 의 위험을 제거하여 보다 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 고급 제어 시스템은 또한 높은 정밀 단일 영역 (Single Zone) 자동 적응 웨이퍼 온도 센서를 가지고 있어 처리 중 웨이퍼 온도를 정확하게 측정합니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS ENDURA 에는 처리 로그를 효율적으로 검토할 수 있는 포괄적인 데이터 로깅 패키지가 있습니다. 이 데이터 로깅 패키지에는 고품질 기록 해상도, 로그 컨텐트 실시간 표시, 사용자 정의 로깅 매개변수 등이 있습니다. 이 패키지는 엔드 유저 (End User) 가 프로세스의 문제를 쉽고 정확하게 해결할 수 있도록 도와줍니다. 결국, ENDURA는 매우 효율적이고 안정적인 처리 플랫폼으로, 고급 프로세스 제어 (process control) 기술을 통해 사용자가 반복 가능한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 대용량 생산 요구에 이상적인 선택입니다.