판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9150112

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 혁신적인 유형의 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 장비입니다. 매우 유연하고 고급 시스템으로서, 광범위한 증착 (deposition) 어플리케이션에서 뛰어난 필름 품질과 성능을 제공합니다. 이 장치는 사용자에게 고유한 프로세스의 매개변수를 정의하고, 생산성 (productivity) 과 출력 (output) 을 동시에 극대화하는 최첨단 옵션을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor) 는 단일 챔버 스택 디자인으로 구성되어 있으며, 다양한 더미 웨이퍼 (dummy wafer) 를 통해 최대 9 인치 이상의 웨이퍼 기능을 지원하므로 다양한 사용자의 요구를 충족할 수 있습니다. 완전 자동화 솔루션은 저온 전구체 제어 (low temperor control) 에서 챔버 압력 제어 (chamber pressure control) 및 기판에서 기판까지의 균일성 (unifority) 에 이르는 기능을 갖춘 고급 프로세스 컨트롤러 시스템에 의해 보완됩니다. 원자로는 특별한 초점 판과 정확한 웨이퍼 포지셔너 (wafer positioner) 가있는 에지 바이어싱 (edge biasing) 을 사용하여 증착의 균일성을 달성한다. 또한 APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor의 고급 공정 모니터링 기능 (in-situ mass spectrometer 및 reflectometer) 을 통해 정확한 필름 성능을 보장합니다. 엔두라 리액터 (ENDURA Reactor) 는 보조 프로세스의 통합을 위해 로드 락 (load-lock) 머신이 장착되어 있으며 고급 안전 기능 및 모니터링 기능으로 제공됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로) 는 다용도 및 사용자 친화적이며, 변화하는 요구 사항에 대응하여 프로세스 매개변수를 빠르고 쉽고 빠르게 정의할 수 있습니다. AMAT ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor) 는 에너지 효율성을 높여 에너지 비용을 절감하며, 안전한 작업 환경을 보장하는 최고의 안전 표준을 준수합니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 다양한 증착 응용 프로그램에서 뛰어난 필름 품질과 성능을 제공하는 고도의 도구입니다. 여러 웨이퍼 기능, 고급 프로세스 컨트롤러 시스템, 인사이트 질량 분석기 (in-situ mass spectrometer) 및 반사계 (reflectometer) 를 제공하는 ENDURA Reactor 사용자는 원하는 응용 프로그램의 매개변수를 빠르고 쉽게 조정하여 에너지 비용을 절감하고 생산성을 동시에 높일 수 있습니다.