판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116854

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제조 공정에 사용되는 정교한 플라즈마 에치 원자로입니다. 최고 수준의 정확성과 정확도를 유지하면서 최고 수준의 균일성 (unifority), 생산성 (productivity) 및 제어 (control) 를 제공하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA 원자로는 에칭 공정에 사용되며, 여기에는 산화물 및 하드 마스크 같은 재료를 제거하여 접촉 개구부, 참호 및 비아를 만듭니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로의 중심에는 Multi-micron Delta 장비가 있으며, 이 장비는 3 가지 주요 기술을 사용하여 정밀 에칭을 달성합니다. 첫째, 반응 챔버에서 가스를 지속적으로 충돌시키는 멀티 미크론 가스 충돌 (Multi-micron Gas Collisions) 은 샘플과 더 잘 반응하여 균일 성을 향상시킵니다. 두 번째는 균일 성을 향상시키기 위해 저전력 기반 RF 에너지를 사용하는 Multi-micron Magnetron-Enhanced Plasma Source입니다. 마지막으로, ICP (Multi-micron Inductively Coupled Plasma) 소스는 향상된 재료 선택성을 제공하는 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 에칭 프로세스 (ICP-RIE) 에 사용됩니다. 또한 ENDURA에는 레시피 실행 (recipe execution) 과 최적화 (optimization) 를 자동화하여 생산성을 극대화하는 독점 레시피 최적화 시스템이 포함되어 있습니다. 전원 공급 장치 제어 (Power Supply Controls) 는 사용자가 정확한 전압/전류/전원 제어 기능을 제공하며, 에칭 프로세스 중에 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있도록 합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 또한 여러 공정 챔버를 특징으로하며, 원자 층 수준에서 불소 및 염소를 포함한 여러 에칭 화학 물질을 허용합니다. AMAT ENDURA의 주요 기능 중 하나는 다중 모드 작동으로, 사용자에게 두 가지 작동 모드 (프로세스 및 모니터) 를 제공합니다. 프로세스 모드에서 사용자는 APPLIED MATERIALS ENDURA를 에치 샘플로 프로그래밍할 수 있지만, 모니터 모드에서 장치는 프로세스 내 샘플을 관찰하고 압력, 온도, 가스 흐름, 챔버 밀도와 같은 매개변수를 기록합니다. 또한 ENDURA에는 프로세스 불안정성을 감지하고 사용자에게 경고하는 자동 진단 (Auto-Diagnostic) 기능이 있으므로 수정 조치를 취할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제조 공정에서 탁월한 정확성과 정확성을 제공하는 고급 에치 (etch) 원자로입니다. 혁신적인 기술과 자동화된 최적화 시스템, 멀티 마이크론 델타 머신 (Multi-micron Delta Machine), 레시피 최적화 도구 (Recipe Optimization Tool) 를 결합하여 사용자는 더 작고 복잡한 구조를 자신감있게 에칭하여 더 높은 수익률과 더 큰 수익률을 얻을 수 있습니다.