판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116853

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 기술적으로 까다로운 에칭, 기판 배치 및 증착 공정에 대한 금속 증착률을 개선하고 재생성을 향상시키기 위해 설계된 고급 고 처리량 금속 증착 장비입니다. 이 시스템은 단일/다중 증착원 (continuous 또는 periodic wafer rotation) 을 가능하게 하며 높은 균일성과 반복성을 제공합니다. AMAT ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor) 는 증착 과정을 효과적으로 수행하기 위해 통합 단위로 함께 작동하는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 이러한 구성 요소에는 공정 챔버, 최종 이펙터, 올려진 패널 로더, 냉각 팬, 가속도계, 다중 증착 소스 및 특수 제어 장치가 포함됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 기계의 주요 모듈이며, 압력, 흐름 및 온도를 제어하는 한 쌍의 동심 실린더 벽으로 구성됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 엔드 이펙터 (ENDURA End-Effector) 를 사용하면 챔버 내에 웨이퍼를 배치하고 회전시킬 수 있으며, 레버 작동, 저입자 방출, 상승 패널 로더 위에 위치하여 기판 로딩 및 언로드가 쉽고 쉽습니다. 여러 온도 센서와 결합된 고출력 냉각 팬 도구 (High-power cooling fan tool) 는 전체 공정 챔버 전체에 균질한 온도 분포를 유지합니다. 고급 가속도계 (Advanced Accelerometer) 는 일관된 결과를 유지하기 위해 웨이퍼 이동을 등록 및 모니터링하는 데 사용됩니다. 또한, ENDURA Reactor는 루테늄, 합금, 금, 알루미늄 등을 포함한 광범위한 합금 유형 및 증착에 대해 여러 증착원에 대해 구성 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor) 는 또한 자산을 보다 쉽게 프로그래밍하고, 불필요한 변동성을 줄이고, 프로세스 처리량 및 균일성을 높이는 다양한 기능을 제공합니다. 인터록 (Interlock) 기능은 웨이퍼가 여전히 진행 중일 때 모든 인터페이스 단계를 방지하는 반면, 안전 모델 (Safety Model) 은 연동되는 동안 실수로 프로세스 챔버 도어를 여는 것을 방지합니다. 제어 장비 (Control Equipment) 를 사용하면 전체 증착 프로세스를 정확하고 정확하게 제어하고 계획할 수 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 기판 배치 및 설정을 실시간으로 보고, 분석하고, 수정할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 다중/복합 증착을 위한 자동 레시피 스크립트 (recipe script) 생성을 지원하므로 작업 실행 속도가 빠르고 정확합니다. 요약하자면, AMAT ENDURA Reactor는 증착 과정의 효율성을 자동화 및 향상시키기 위해 설계된 고급 고 처리량 금속 증착 시스템입니다. 정교 한 구성 요소 와 "소프트웨어 '로 인하여, 금속 증착율 과 정확도 를 향상 시키는, 신빙성 있고, 다재다능 하며 능력 있는 장치 가 된다. 이 때문 에 기계 는 "에칭 ', 기판 배치 및 기타 증착 과정 과 같은 광범위 한 금속 증착" 애플리케이션' 에 이상적 이 된다.