판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9105850
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ID: 9105850
Load Port Interface, 8"
From 8" Endura CVD System
(1) Prealigner: Kensington P/N: 25-3600-0300-03
(2) Servo Controllers
Robots:
Kensington P/N: 35-3700-1425-18
Kensington P/N: 15-3702-1425-25
PCB's:
AMAT P/N: DNP-CPCI-1
MKS P/N: CDN491
SBS P/N: 0190-05410
SBS P/N: Single board computer
SBS P/N: CPMC.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 반도체 제조에 사용되는 산업용 워크 호스 원자로입니다. 이 물리적 증기 증착 (PVD) 도구는 회로, 광자, 웨어러블 및 생의학 의료 임플란트와 같은 다양한 응용 분야를 위해 웨이퍼, 칩 및 기타 기판에 얇은 재료 필름을 입금하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA 원자로는 특허를받은 3 챔버 설계를 사용하여 각 서열에서 여러 증착 및 노출이 가능합니다. 구리, 텅스텐, 알루미늄, 규소와 같은 증착 재료와 티타늄 또는 알루미늄과 같은 캡핑 재료를 지원합니다. 정밀 프로세스 제어 및 반복 능력 덕분에, 이 도구는 일관된 결과와 마스크 적합성을 제공합니다. 입자 배출량이 매우 적으면 입자 카운터 (particle counter) 가 필요하지 않으며 웨이퍼 재확보 및 청소 (cleaning) 가 덜 필요하므로 다른 PVD 도구에 비해 처리량이 증가합니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 원자로는 또한 챔버 환경을 튜닝하여 최적의 증착 조건을 제공 할 수있는 유연한 컨트롤러와 빠른 압력 제어를 위한 압력 창 (pressure window) 을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 고품질 박막이 침전되도록 할 수 있습니다. 엔두라 (ENDURA) 는 증착 능력 외에도 과산화수소, TMAH 등 다양한 화학 물질을 사용하여 습식 에칭 및 표면 청소가 가능합니다. 이 에칭 기능은 일부 장치 (예: MEM) 의 성능을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 예를 들어, 습식 (wet) 결과가 좋지 않아서 민감하게 사용할 수 있습니다. 다용도, 견고한 디자인 및 마음 기능 때문에 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 반도체 및 광전자 제조에 널리 사용됩니다. 즉, 빠르고 정확한 박막 증착이 가능하며, 프로세스 매개 변수의 뛰어난 반복성을 달성하며, 프로세스 제어가 좋습니다.
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