판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9096488

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 매우 높은 생산성 처리를 위해 설계된 고급 증착 장비입니다. 이 제품은 운영 효율성을 극대화하고 다양한 프로세스에서 최고의 플랫폼 성능을 제공합니다 (영문). AMAT ENDURA 원자로의 핵심은 ASPS (Automated Semiconductor Production System) 가있는 APPLIED MATERIALS ENDURA Enhanced Stage (EES) 입니다. 이 장치는 물질적 균일성 (material unifority) 에 대한 제어 및 보증, 프로세스 정확성 및 반복성 향상 등을 제공합니다. EES는 독점 샤프트 설계를 사용하여 관련 감지기 (susceptor) 및 로봇 암과 공구를 통합할 수 있습니다. 또한 EES는 균일하고, 정확하며, 반복 가능한 챔버 이동 맵, 보다 효율적인 기판 로드 및 언로드, 유지 관리 시간 감소를 제공합니다. ENDURA 원자로의 높은 처리량 증착 프로세스는 액체 소스 전달 기계를 사용하며 RIE (Reactive Ion Etch) 도구 또는 Ion Implantation 자산을 아키텍처에 완벽하게 통합 할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 단계의 일관되고 반복 가능한 처리량과 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 를 완벽하게 통합할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 또한 최적의 프로세스 개발 및 실행을 위해 통합 된 진정한 닫힌 루프 프로세스 제어 및 모니터링 모델을 특징으로합니다. AMAT ENDURA 원자로는 표적 재료가 다른 여러 공정 챔버 구성을 제공합니다. 이를 통해 사용자에게 모든 범위의 맞춤형 프로세싱과 유연성을 제공할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 프로세스 단계 또는 특정 응용 프로그램에 따라, 최적화 된 처리량과 균일성을 제공하기 위해 2 가지 작동 모드를 갖습니다. 안전성 측면에서, ENDURA 원자로는 하드웨어 및 소프트웨어 보호를 모두 갖춘 새로 개발 된 안전 연동 장비를 자랑합니다. 즉, 시스템 내 모든 프로세스 단계를 모니터링할 수 있으며, 사용자에게 가장 높은 수준의 안전 측정 (Safety Measure) 을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 또한 완전 자동화 된 재료 데이터베이스를 특징으로하며, 사용자는 항상 재료 프로세스, 현재 프로세스 시간, 기판 온도 제어에 대한 최신 정보를 유지할 수 있습니다. AMAT ENDURA 원자로에는 배치 추적 장치와 내부 감사 로깅 머신도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 변경 내용을 기록하고, 로트 (lot) 및 기판 (substrate) 작업을 추적하고, 처리 중에 수행한 변경 사항이나 작업에 대한 감사 추적을 유지할 수 있습니다. 따라서 최신 정보를 항상 사용할 수 있습니다. 결론적으로, APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 다양한 프로세스에서 생산 효율성이 매우 높고 유연성을 유지할 수있는 고급 증착 도구입니다. 이 제품은 최적의 성능과 안전성을 보장하는 다양한 기능과 기술을 갖추고 있으며, 생산 제어 (Production Control) 및 높은 처리량을 제공하는 독보적인 플랫폼을 갖추고 있습니다.