판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9093781

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 장비는 비용 효율적이고 신뢰성이 높은 반도체 생산 솔루션을 제공하기 위해 특별히 설계된 클러스터 도구 플랫폼입니다. 특히, AMAT ENDURA 플랫폼은 최고 품질과 성능을 갖춘 고급 메모리, 논리 및 3D FinFET 기술을 생산하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 시스템을 사용하면 최첨단 반도체 기술과 최고의 유닛 안정성, 성능을 결합한 고급 반도체 프로세스 (Advanced Semiconductor Process Feat) 를 달성할 수 있습니다. 엔두라 (ENDURA) 는 프로세스 워크플로의 다른 세그먼트에 서비스를 제공하도록 설계된 종합적인 장비 모듈 (Suite of Equipment Module) 로 구성됩니다. 여기에는 증착, 에치 및 청소, 도펀트 증착 및 활성화 및 에치 경유가 포함됩니다. 또한 지능형 열 제어 시스템 (Thermal Control System) 과 높은 처리량을 자랑하는 프런트엔드 클러스터 (Front-End Cluster) 를 통해 효율성을 극대화하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 머신은 증착을 위해 최고 품질의 Solid CVD 도구와 표준 Rapid Thermal Process 도구를 사용합니다. 이렇게 하면 각 프로세스 레이어에 가장 높은 품질이 보장됩니다. 또한 프로세스 계층 사이에 가장 높은 수준의 균일성, 강성, 준수를 제공하여 매우 얇은 트랜지스터 아키텍처로 생산 등급 기판을 생성합니다. AMAT ENDURA 도구는 또한 고성능 플라즈마 에치를 포함한 고급 에치 (etch) 및 클린 모듈 (clean module) 과 증착 후 청소를위한 LPCVD 챔버가 장착되어 있습니다. 특히, etch 및 clean 프로세스를 통해 고객은 에피 택시 레이어 (epitaxial layer) 및 반도체 장치 제작에 사용되는 기타 박막 재료에 대한 높은 선택성과 깊이 제어를 통해 실리콘 에치를 달성 할 수 있습니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 에는 장치 구조의 불순물 통합을위한 고급 도펀트 증착 및 활성화 자산이 장착되어 있습니다. 이 모델은 독점적 인 도펀트 화학 (dopant chemistry) 과 열 활성화 (thermal activation) 를 사용하여 완벽한 전기 특성과 향상된 장치 성능을 위해 거의 완벽한 도핑 균질성을 달성합니다. 마지막으로 ENDURA에는 정밀 접촉 레벨 리소그래피를위한 혁신적인 드라이 에치 장비가 있습니다. 이를 통해 하위 리소그래픽 피치 (subhographic pitch) 와 임계 종횡비 (critical aspect ratio) 를 갖춘 고해상도 패턴을 제공합니다.