판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9060632

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 다양한 기판에 일관되고 신뢰할 수있는 박막을 배치하는 데 사용되는 고성능 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 박막 성능, 균일성, 반복성을 제공합니다. 이러한 필름의 품질은 AMAT ENDURA의 업계 최고의 처리량, 프로세스 제어, 유연성 및 수익률에서 분명합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA는 고급 아크 건 기술을 사용하여 고품질 박막을 생산합니다. 아크 건은 텅스텐 (tungsten), 몰리브덴 (molybdenum) 또는 이리듐 (iridium) 과 같은 전도성이 높은 물질을 함유하는 양극으로 구성됩니다. 그런 다음 양극은 진공 챔버 (vacuum chamber) 안에 배치되고 DC 전원은 양극과 음극 (cathode) 또는 기판 사이에 호를 형성하는 데 사용됩니다. 그러면 "아아크 '는 중성" 플라즈마' 와 기질 에 박막 을 생성 한다. 엔두라 (ENDURA) 장치는 다양한 애플리케이션에 맞게 조정이 가능한 플랫폼을 제공합니다. 공정 제어 기능에는 온도, 압력, 전력 조절이 포함되며, 박막 증착의 미세 튜닝이 가능합니다. 따라서 Reactive Gase, Dopant 및 기타 프로세스 조건을 정확하게 조정할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 머신 캐리어 보드는 또한 증착 과정에서 필름 두께, 균일성 및 스텝 커버리지를 수정할 수있는 기능을 제공합니다. 캐리어 보드는 여러 가스의 소스를 사용하여 향상된 필름을 전달하며, 각 소스는 자체 가스 질량 (gas mass flow) 밸브를 통해 독립적으로 제어됩니다. 이것은 증착 중 반응물 가스의 변조를 가능하게하며, 필름 두께 제어가 뛰어난 박막 (thin film) 을 가능하게한다. AMAT ENDURA Reactor는 최첨단 장치 제작의 핵심 구성 요소입니다. 이 도구에서 생산되는 탁월한 박막 (thin film) 은 높은 처리 주기를 유지하면서 뛰어난 프로세스 제어 및 반복성을 제공합니다. "필름 '은 안정성 이 있고 일관성 이 있으며," 필름' 은 최고 품질 의 최종 제품 을 생산 할 수 있게 해 준다.