판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9052314

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ID: 9052314
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
System, 8", 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 고도의 전문 반도체 처리 원자로입니다. 반도체 업계의 기업과 연구원들이 양질의 포토마스크 (photomask), 멀티칩 모듈 (multichip module), 복잡한 웨이퍼 레벨 컴포넌트 생산 등을 할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA 플랫폼은 수평 및 수직 축을 갖춘 이중 축 구조로, 사용자에게 원자 층 증착 (ALD), 화학 증착 (CVD) 및 기타 고정밀 웨이퍼 수준 처리를 위한 비용 효율적인 효율적인 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 장비 의 주된 장점 은, 신뢰 할 만한, 반복 할 수 있는 방식 으로, 여러 가지 기판 을 처리 하는 능력 과, 비할 데 없는 정확도 로 처리 하는 능력 등 이다. 그렇다. APPLIED MATERIALS ENDURA 시스템은 크기가 1mm 인 작은 웨이퍼 (wafers) 와 같은 작은 기판 외에 고 수율 10 인치 갈륨 비소 (GaAs) 웨이퍼와 같은 대형 기질을 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치에는 적응 가능한 온도 범위와 최대 2700 밀리바의 압력 범위가 있습니다. 또한 온도, 압력, 처리 시간 요소를 매우 정확하게 제어하여 안정적이고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 이 기계는 열 산화물, 금속 산화물, 코발트 옥사이드, 다이아몬드 유사 탄소를 포함한 다양한 공정 화학 물질을 처리 할 수 있습니다. 달성 가능한 처리 시간은 단 몇 분 (minute) 에 불과하며 빠른 주기 (quick cycle time) 가 필요한 애플리케이션에 적합합니다. 또한, 원자로는 고주파 전력을 사용하여 정확한 재료 등각 증착을 위해 정밀 용량 제어를 보장합니다. 엔두라 (ENDURA) 툴에는 이탈리아제 모션 컨트롤러 (Motion Controller) 가 장착되어 있어 뛰어난 성능을 제공하며 플랫폼의 복잡한 이동 패턴을 정확하고 정확하게 실행할 수 있습니다. 이 자산은 완전히 자동화되어, 사용자가 수작업 (manual intervention) 과 수작업 (manual handling) 을 최소화할 수 있게 해 줍니다. 모델 소프트웨어에는 자동 제어 작업을 위한 온보드 레시피가 포함되어 있으며, 플랫폼 성능을 더욱 최적화합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 장비는 오늘날 시장에서 사용 가능한 가장 발전된 다용도 반도체 처리 원자로 중 하나입니다. 이 제품은 복잡한 Wafer 수준의 구성요소를 정밀 처리, 생산할 수 있도록 경제적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 넓은 온도, 압력 범위, 정확한 제어 시간, 빠른 주기 시간을 통해 하이엔드 반도체 제작을위한 최고의 솔루션이 됩니다.
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