판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293824617

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 박막을 기판 및 반도체 웨이퍼에 배치하는 데 사용되는 고성능 시스템입니다. 그것은 태양 및 태양 광 산업, 그리고 고급 석판 도구의 제작에 일반적으로 사용됩니다. 원자로 (reactor) 는 사진 석판화 (photo-lithography) 와 산화 (oxidation) 등 다양한 증착 과정을 선택하고 제어하기 위해 저렴한 다용도 플랫폼입니다. AMAT ENDURA 원자로는 모듈 식 구조를 가지고 있으며, 최적의 열 안정성과 성능을 위해 설계된 고급 진공실을 갖추고 있습니다. 중량 확산 펌프 (heavy-duty diffusion pump) 와 고속 회전 급지대 (high-speed rotation feeder) 는 처리 중 더 나은 제어 및 정밀도를 보장합니다. 원자로 (reactor) 는 또한 이중 축 고온, 고순도 석영 필름 증착 소스 디자인을 특징으로하며, 여러 층의 재료를 한 번에 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 대용량 증착을 위해 설계되었으며 브러시리스 (Brushless) DC 드라이브 모터 및 독점 파형 발전기를 사용하여 필름 증착을 정확하게 제어합니다. 또한 신경 네트워크 컨트롤러 (neural network controller) 와 정교한 피드백 루프 (feedback loop) 를 통해 일관되고 반복 가능한 증착을 보장합니다. ENDURA 원자로는 고밀도 통합 및 고급 도량형 및 검사 기능에 이상적입니다. '고성능 필름 포메이션 (film-formation)' 기능은 반도체 애플리케이션에 도전하는 데 적합하지만 '저렴한 비용과 빠른 처리량은 대용량 생산에 이상적입니다. 원자로는 다양한 크기와 두께의 여러 기판을 처리 할 수 있으므로, 효율적인 생산이 가능합니다. 또한 증착 과정에서 필름을 모니터링하는 현장 광학 도량형 시스템 (in-situ optical metrology system) 과 기판을 로드/언로드 스테이션 (loading/unloading station) 또는 챔버 (chamber-to-chamber) 로 이동할 수있는 통합 로봇 암이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 태양 전지 제작 및 고급 리소그래피 프로세스를 포함하여 생산 응용을위한 안정적이고 견고한 솔루션입니다. 뛰어난 영화 균일성과 재현성 (Reproxibility) 을 제공하여 광범위한 제작 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 발휘합니다.