판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293767183
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 반도체 산업에서 사용되는 챔버 레벨 진공 공정을 위한 시스템 레벨 솔루션입니다. 이 장비는 생산량의 정확한 프로세스 제어, 균일성 (unifority) 및 반복 (repeatability) 을 가능하게 하여 탁월한 처리량 및 장치 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 하드웨어와 소프트웨어가 통합된 모듈식 설계 (Modular Design with Integrated Hardware and Software) 를 통해 디바이스 유형과 특정 프로세스 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 프로세스의 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 고효율, 고속 DPCS (Dynamic Pressure Control Unit) 로 제작되었습니다. AMAT ENDURA에는 또한 고정밀 진공 플라즈마 소스 (high-precision vacuum plasma source) 가 장착되어 있으며, 다양한 프로세스 옵션과 다양한 고급 플라즈마 진단을 제공합니다. 기계의 중심부에는 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 있는데, 이 시스템은 정확하고 통제 된 용량으로 고순도 가스를 공급합니다. 이 도구는 가스 믹서 (gas mixer) 를 사용하여 가스 간 빠른 전환, 높은 정확성 및 프로세스 결과를 정확하게 분석 할 수있는 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 에셋에는 전원 전달 모델 (Power Delivery Model) 도 포함되어 있어 챔버 벽의 하중을 제어하여 프로세스 온도를 철저히 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 장치 복잡성과 수익률에 관계없이 균일성이 보장됩니다. 또한, ENDURA는 자동화된 프로세스와 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 따라서 연산자가 프로세스를 설정하고, 매개변수를 조정하고, 결과를 보는 것이 더 쉬워집니다. 또한, 이 장비는 네트워킹이 가능하므로, 원격 프로세스 제어, 자동화 및 데이터 관리가 가능합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 뛰어난 공정 제어, 정확성 및 반복성을 제공하여 반도체 산업에서 향상된 수율로 고성능 장치를 생산할 수 있습니다. 또한 사용자 친화성 (user-friendiness) 및 자동화 프로세스 (automated process) 를 통해 낭비를 줄이고 효율적인 워크플로우를 보장할 수 있습니다.
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