판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293618286

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA) 는 금속 필름을 기판에 증착하도록 특별히 설계된 물리적 증기 증착 (PVD) 장비입니다. 이 PVD 시스템은 실리콘 웨이퍼, 유리, 금속 및 폴리머를 포함한 다양한 재료에 사용하기에 적합합니다. 응용 재료 ENDURA 원자로는 두께 1 ~ 200 나노 미터의 필름을 증착 할 수 있습니다. 알루미늄, 금, 몰리브덴, 텅스텐, 니켈, 티타늄 및 다양한 합금을 포함한 다양한 금속을 매장하는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 초고진공실 (ultra-high vacuum chamber) 을 사용하여 금속이 승화시킨 후 기판에 퇴적시키는 거의 완벽하게 순수한 물질원을 만듭니다. 초고진공실은 5x10-7 torr의 기본 압력으로 유지됩니다. "가스 '는 뜨거운 지대" 히터' 를 통과 하는 챔버 에 도입 되는데, 그 로 인해 "가스 '분자 들 이 원자 로 분리 된다. 이러 한 원자 들 은 "플라즈마 '원 을 사용 하여" 이온' 화 한 다음, 기질 을 가로질러 전자기장 으로 향한다. "이온 '이 기판 을 치면, 그 들 은 응집 하여 원하는 금속" 필름' 의 층 을 표면 에 형성 한다. 이 기계 는 또한 "심우버 '내 의 높은 진공 상태 를 유지 하는" 터어보울러' "펌프 '를 장착 하여 증착 과정 을 위한 최적 의 환경 을 제공 한다. 에디 자석 (eddy magnet) 을 사용하여 퇴적되는 물질의 순도 (purity) 와 질 (quality) 을 손상시킬 수있는 입자를 필터링할 수 있습니다. 원자로에는 레이저 간섭계 (laser interferometer) 와 다양한 프로세스 진단 시스템 (process diagnostics system) 과 증착 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 전체 소프트웨어 제품군이 장착되어 있습니다. 엔두라 원자로 (ENDURA reactor) 는 강력하고 정밀한 PVD 툴로, 고성능 합금을 포함한 금속 필름의 증착에 매우 적합합니다. 두께와 조성을 정확하게 제어하는 필름 (film) 을 배치하는 능력은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 와 반도체 (SEMS) 에서 태양 전지, 디스플레이 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 에 이르기까지 수많은 산업에서 제조하기에 귀중한 도구입니다.