판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #177711

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 최첨단 반도체 장치의 제작을 위해 설계된 고도의 화학 원자로 및 질량 전달 시스템입니다. 원자로 (Reactor) 에는 다양한 반도체 장치의 개발, 제조, 테스트에서 높은 생산성, 높은 처리량, 저렴한 운영이 가능한 독특한 기능이 포함되어 있습니다. AMAT ENDURA Reactor는 인클로저와 3 가지 주요 구성 요소 (반응 챔버, 챔버 인클로저 및 전처리 챔버) 로 구성됩니다. 반응실 (reaction chamber) 은 다운타임을 최소화하면서 고속 생산을 가능하게 하는 화학 공정을 위해 통제 된 환경을 제공합니다. 그것 은 "가스 '와" 액체' 의 흐름 을 조절 하고, 균일 한 온도 와 압력 을 유지 하도록 설계 되었다. 인클로저는 반응 챔버 (reaction chamber) 와 전처리 챔버 (pre-treatment chamber) 를 수용하며, 설계 공정에 대한 최적의 환경을 보장하기 위해 질소와 산소의 조합으로 압력을 가한다. 반응 챔버 외에도, APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor에는 사전 처리 챔버 (pre-treatment chamber) 가 포함되어 있으며, 이는 반응 챔버에 들어가기 전에 기질의 청소 및/또는 처리를 허용합니다. 챔버 (chamber) 는 물 청소 및 냉각을위한 워터 링 (water ring) 을 포함하는 일련의 챔버 구성 요소로 구성됩니다. 화학 청소를위한 스크러버; 증기 청소를위한 증기 상자 히터; 열 청소를위한 고온로; 오존 청소를위한 오존 발전기. 또한, ENDURA Reactor는 비용 효율적이고, 강력하며, 안정적인 자동화 및 프로세스 제어 시스템을 제공하는 enviromax 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이 마이크로프로세서 기반 컨트롤러는 원자로 작동에 대한 정밀 제어를 제공하여, 광범위한 작동 범위, 효율적인 2 단계 프로세스 운영, 높은 처리량, 빠른 레시피 개발을 가능하게 합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 비교할 수없는 성능과 안정적인 작동으로 인해 반도체 산업에 널리 채택되었습니다. 원자로 (Reactor) 의 고급 기능은 기판의 빠르고 안정적인 처리를 제공하는 반면, 사용하기 쉬운 자동화 시스템은 효율적인 작동과 빠른 레시피 (Recipe) 개발을 보장합니다. 또한, 이 원자로는 저비용 (low-cost use) 과 유지보수 (maintenance) 를 위해 설계되어 비용 민감한 시장의 어플리케이션을 위한 매력적인 선택입니다.