판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #117307

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor라고도 함) 는 반도체 산업을 위해 설계된 대규모 산업 공정 장비입니다. 원자로는 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스에 사용되며 일반적으로 기질에 실리콘, 다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 및 질화물 층의 박막 층을 증착시키는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 박막 층의 일관되고 안정적인 증착에 필요한 공정 매개변수를 모니터링하고 제어 할 수있는 고온, 고압 CVD 원자로입니다. 난방 "가스 '와 난방" 서셉터' 가 장착 되어 있으며, 광범위 한 "가스 '와 반응물 과 호환 된다. 원자로에는 또한 정확한 강착 온도 조절, 압력 감지 및 조절, 유량 제어 (flowrate control) 등 다양한 고급 공정 제어가 있습니다. ENDURA Reactor는 반도체 산업에서 전자 회로, 마이크로 구조, MEMS 구성 요소 및 기타 응용 프로그램 제작에 널리 사용됩니다. 이 제품은 레이어 재료의 빠르고 효율적인 증착을 위해 설계되었으며, 매우 정확하고 반복 가능한 증착을 위해 탁월한 온도 균일성 (excellent temperity) 및 반복성 (repeatability) 을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 프로세스 시간을 줄이고, 오류를 최소화하고, 처리량을 최대화하도록 설계되었습니다. 원자로는 두 가지 주요 구성 요소 인 공정 챔버 (process chamber) 와 컨트롤러 (controller) 로 구성됩니다. 공정 챔버는 석영, 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 난방 요소, 서셉터 및 필요한 모든 센서 및 밸브를 수용합니다. 또한 증착 과정이 실제로 발생하는 영역입니다. 컨트롤러 (Controller) 는 원자로를 조절하고 프로세스 매개변수를 최적화하는 데 필요한 소프트웨어와 하드웨어가 포함된 고급 컴퓨터 시스템 (Advanced Computerized System) 입니다. AMAT ENDURA Reactor는 프로세스 엔지니어 및 운영자에게 전체 증착 프로세스를 완전히 제어합니다. 이산화규소, 질화물, 다이아몬드 같은 탄소를 포함한 다양한 물질과 함께 사용할 수 있습니다. 원자로는 또한 매우 균일 한 온도 분포, 정밀한 압력 조절 및 극도로 낮은 불순물 수준을 가지고 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 공정 제어 기능 외에도 빠르고 일관된 증착률을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 마모 방지 (wear-resistance) 부품이 특징이며 더 깨끗한 증착 환경을 위해 소음 및 미립자 수준을 줄이는 기능을 포함합니다. 전반적으로 ENDURA Reactor는 반도체 산업을 위해 설계된 고급 산업 공정 장비입니다. 원자로는 CVD 프로세스에 사용되며, 기질에 얇은 필름 층의 실리콘, 다이아몬드 같은 탄소 및 질화물을 침전시키는 데 사용될 수있다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 정밀한 프로세스 제어 및 신속한 증착율뿐만 아니라, 더 깨끗한 증착 환경을 위해 낮은 소음 및 미립자 수준을 제공합니다.