판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD #9384072

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD 원자로는 물리적 증기 증착 (PVD) 응용을위한 최첨단 도구입니다. 원자로는 뛰어난 공정 균일성 (process unifority) 과 반복성을 가진 기판에 필름 층을 배치하도록 설계되었습니다. 이 장비는 신뢰할 수 있는 PVD 필름 증착을 제공하고 다양한 증착 기술을 지원하는 업계 최고의 프로세스 툴입니다. AMAT Endura VHP PVD 원자로는 프로세스 유연성, 높은 처리량, 초저입자 성능 측면에서 최적의 설계를 제공합니다. 무선 주파수 (RF) 및 고밀도 직류 (DC) 전원을 사용하여 다양한 기판 재료 및 크기에 걸쳐 탁월한 균일성 및 그리드 레이어의 필름 레이어를 달성합니다. 이 시스템에는 열 및 입자 성능 향상을 위해 챔버, 소스, 기판 홀더, 웨이퍼 스테이지 용 차세대 디자인이 포함되어 있습니다. 또한, 원자로에는 프로세스 신뢰성 향상을 위해 전동 보호 기능이 장착되어 있습니다. 응용 물질 엔두라 VHP PVD (APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD Reactor) 는 또한 기판 생성물에 적재 할 수있는 증착 전구체를 전달하고 반응 챔버로 빠르게 구동 할 수있다. 향상된 모션 제어 및 최적화된 미러 위치 감지 기능을 통해 보다 우수한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장치는 상업용, R&D 및 파일럿 라인 생산 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. 엔두라 VHP PVD (Endura VHP PVD) 원자로에는 통합 진단 시스템의 도움으로 기판 전체의 증착률, 온도 프로파일, 필름 두께를 정확하게 측정 할 수있는 기능이 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 분석 도구 (analytical tools) 를 지원하며, 시간 경과에 따른 진화와 증착 프로세스의 실시간 모니터링을 지원할 수 있습니다. 이 자산은 사용자 친화적으로 설계되었으며, 다양한 레시피 (레시피) 및 레시피 (레시피) 사용자 정의 기능을 제공하여, 개별 요구에 맞게 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 원자로는 고급 장애 감지 (Advanced Fault Detection) 및 해상도 (Resolution) 를 특징으로하며, 예상치 못한 사건으로 인한 프로세스 불일치 감지, 프로세스 중단 없이 식별된 불일치가 신속하게 해결됩니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD 원자로는 신뢰성이 뛰어나고, 효율적이며, 맞춤형 물리적 증기 증착 프로세스 도구로서, 뛰어난 프로세스 균일성 및 반복 가능성, 최적화된 모션 제어 및 미러 위치 감지, 증착 프로세스의 실시간 모니터링을위한 통합 진단 모델.