판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9203028

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 대용량 반도체 장치 및 태양 광 세포 제조에 사용되는 고급 인라인 직접 열 처리 원자로입니다. 이 도구는 300mm (12 인치) 웨이퍼를 처리하여 처리량을 높이고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. AMAT Endura TxZ 공정 챔버는 여러 구역으로 나뉘며, 각 영역은 서로 다른 기능을 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 카세트 스테이션은 전자 빔 증발 소스와 물리적 증착 (PVD) 소스를 모두 수용 할 수 있습니다. 공정 챔버에는 고급 냉각 및 온도 조절 메커니즘도 장착되어 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 공정 챔버의 빠른 가열을 위해 고주파의 고주기주기 전원을 사용합니다. Endura TxZ는 갈륨 비소, 이산화규소 (SiO2) 및 인듐 주석 산화물 (ITO) 과 같은 화합물을 포함하여 여러 유형의 물질을 처리 할 수 있습니다. 또한 알루미늄 및 마그네슘과 같은 원소 물질을 증발시킬 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 반사 및 반사 방지 코팅 재료의 정밀 증착과 다른 여러 재료에 이상적입니다. 또한 스퍼터링, 화학 증기 증착 (CVD), 전자 빔 증발 및 원자층 증착 (ALD) 을 포함한 광범위한 공정 기능이 있습니다. 이 도구는 작동 온도 범위 (200-1200 ° C) 외에도 고급 모니터링, 진단 및 청소 시스템을 갖추고 있습니다. 내장 감지 및 제어 장비는 정확한 웨이퍼 (wafer) 위치를 보장하며 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 증착을 보장합니다. 또한 프로세스 매개 변수를 최적으로 조정하여 결과를 향상시킬 수 있습니다. AMAT Endura TxZ에는 실시간 모니터링 및 진단 시스템이 포함되어 있으며, 이 시스템은 레시피 개발 및 최적화를 위해 일관된 데이터를 제공합니다. 진단 장치 (Diagnostics Unit) 는 또한 기계와의 잠재적 문제를 모니터링하고 보고하여 엔지니어의 즉각적인 피드백 (feedback) 을 제공하여 모든 문제에 신속하게 대응할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 반도체 제조에 사용되는 다른 고급 도구와 호환됩니다. 로봇, 먼지 필터 및 기타 후처리 장비와 잘 통합되도록 설계되었습니다. 이를 통해 엔지니어는 프로세스에 추가 자동화 계층을 추가하여 처리 시간 단축 (Turnaround Time), 정확도 향상 (Improved Accreacy), 수율 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 또한 변화하는 프로세스 요구 사항에 적응할 수 있는 유연성 (Flexibility to Adapt to Changing Process Requirements) 을 갖추고 있어 광범위한 애플리케이션에 적합합니다. 칩 제조에서 태양 광 발전에 이르기까지 Endura TxZ는 다양하고 신뢰할 수있는 처리 솔루션입니다.