판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9192252

ID: 9192252
웨이퍼 크기: 8"
MOCVD Chambers, 8" (2) Gas boxes.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ Reactor는 반도체 산업 내에서 사용자에게 최고의 프로세스 제어 및 정확성을 제공하도록 설계된 최첨단 CVD (chemical vapor deposition) 장비입니다. 이 시스템은 다양한 고급 기술을 활용하여 최적의 프로세스 제어/품질 (process control and product quality) 을 제공하므로 생산성을 극대화하고 비용 효율성을 극대화할 수 있습니다. AMAT Endura TxZ 원자로는 초저열 질량 (ULTM) 생성기 챔버 및 기판 캐비닛을 특징으로합니다. 이 설계는 기생 손실을 최소화하고 열 성능을 최대화하며, 열 주기 시간을 크게 줄이고, 높은 공정 속도를 제공합니다. 혁신적인 다중 영역 온도 제어 장치 (multi-zone temperature control unit) 는 각각의 개별 온도 영역을 미세하게 조정하여 제어 정확도를 극대화하고 비생산적인 프로세스 시간을 줄입니다. 또한, 온보드 압력 부스터는 열 주기 시간을 최소화하여 처리율을 높입니다. 고품질 장치 생산을 보장하기 위해 APPLIED MATERIALS Endura TxZ Reactor는 소스 온도, 설치 높이, 회전 속도, 동작 시간, 가스 혼합 및 가스 흐름을 포함한 모든 매개 변수의 절대 프로세스 제어 및 반복 가능성을 제공합니다. 또한, 이 기계는 실시간 in situ 프로세스 분석 및 제어, 총 압력 제어, 실시간 분광법, 이미지 인식 시스템 및 양적 분석을 포함하여 많은 고급 프로세스 모니터링 및 제어 도구를 통합하도록 설계되었습니다. 엔두라 TxZ 원자로 (Endura TxZ Reactor) 에는 자동 압력 방출 시스템 및 원자로 안전 차단 메커니즘을 포함한 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 안심할 수 있고, 시설 내 운영자 (Operator) 와 동료에게 추가적인 보안 수준을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ Reactor는 인상적인 기능을 제공하여 반도체 응용 프로그램의 고급 프로세스 제어에 이상적인 선택입니다. 이 툴의 첨단 기술은 빠른 열 주기 (thermal cycle time), 프로세스 반복성 (process repeatability), 탁월한 제품 품질 결과를 보장하므로, 사용자는 자산에 의존하여 최적의 프로세스 성능과 비용 절감을 실현할 수 있습니다.
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