판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9100111

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 두께가 균일하고 매우 부드러운 필름을 침전하도록 설계된 증착로입니다. 원자로는 다른 코팅 재료를 가진 2 개의 마그네트론 음극을 사용하여 필름을 한 단계로 퇴적시킵니다. 이를 통해, 필름 증착은 기존의 단일 음극 (single cathode) 기술에 필요한 2 개 이상의 패스 대신 한 번의 패스로 완료 될 수 있습니다. AMAT 엔두라 TxZ (Endura TxZ) 는 고급 다중 음극 시스템을 갖추고 있으며, 프로세스 조건을 최적화하여 필름의 원하는 성능을 달성할 수 있습니다. 통합 컨트롤러는 훨씬 향상된 정확성과 반복성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Endura TxZ에는 다중 음극 마그네트론 스퍼터 증착원과 대칭 구성의 6 마그네트론 소스가있는 벨 스타일 챔버 (bell-style chamber) 가 있어 높은 생산성을 제공합니다. 원자로의 고급 구성은 균일 한 필름 증착과 우수한 두께 균일성을 보장합니다. 엔두라 TxZ (Endura TxZ) 는 또한 아크 억제 기술을 특징으로하여 아크를 제거하고 필름 성장에 대한 간섭을 줄입니다. 다중 음극 시스템은 또한 도전적인 높은 종횡비 구조의 균일 한 코팅을 용이하게합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 또한 액티브 가스 플라즈마 프리 클리닝을 특징으로하며, 이는 증착 전에 필름을 잘 청소합니다. 사전 처리는 챔버에서 입자 오염을 감소시키고, 증착 된 필름을 기질에 더 잘 접착 할 수있다. 고급 플라즈마 제어 시스템은 프로세스 안정성, 균일 한 증착률 및 향상된 처리량을 보장합니다. AMAT Endura TxZ는 10 분 동안 레이어 두께에 대해 ± 0.5% 의 프로세스 안정성을 달성합니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura TxZ (APPLIED MATERIALS Endura TxZ) 는 사용자가 프로세스에서 프로세스까지 필름 속성을 최적화할 수 있도록 다양한 레시피 설정을 제공합니다. 통합 세트 포인트 (integrated set point) 는 사용자에게 프로세스 매개변수를 최적화하여 원하는 필름 특성을 달성하기 위한 광범위한 옵션을 제공합니다. 또한 Endura TxZ 는 대용량 운영 요구 사항을 충족하여 처리량이 많은 애플리케이션에 사용할 수 있게 해 줍니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 뛰어난 필름 증착, 뛰어난 두께의 균일성, 증착 전 필름 청소, 10 분 동안 높은 공정 안정성을 제공하는 증착 원자로입니다. 내장형 컨트롤러는 향상된 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공하며, 다양한 레시피 설정을 통해 사용자가 필름 속성을 최적화할 수 있습니다. 고급 플라즈마 제어 시스템은 프로세스 안정성, 균일 증착 속도 및 향상된 처리량을 보장하므로 AMAT Endura TxZ는 대용량 생산에 이상적입니다.