판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9077829

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 반도체 제작 프로세스를 단순화하고 개선하기 위해 설계된 고급 원자로입니다. 자동 시작 (auto-begin), 자동 종료 (auto-end), 자동 샘플링 (auto-sampling), 자동 프로세스 레시피 실행 (automated process recipe execution) 을 포함한 고급 자동화를 통해 운영 효율화 및 주기 시간을 단축할 수 있습니다. AMAT Endura TxZ는 CVD, PECVD 및 ALD 프로세스를 포함한 반도체 제조에서 가장 어려운 과제를 처리하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura TxZ에는 혁신적인 수소 프리 믹스 (pre-mix) 기술이 적용되어 원자로가 변화하는 기판 온도 요구 사항에 대해 빠르고 정확하게 반응 할 수 있습니다. 이를 통해 원자로 전체에서보다 균일하고 일관된 프로세스 환경이 가능합니다. 또한, Endura TxZ는 미립자 생성을 최소화하고 생산 수율을 개선하도록 설계되었습니다. 이것은 고급 내부 청소 기술과 정교한 진공 설계로 수행됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ 반응 챔버는 Multi-Marquiox RF 소스와 Helios AccuGlow Heated Wafer Shield로 구동됩니다. 200MHz ~ 915MHz 범위의 다중 주파수의 경우, RF 소스는 전례없는 수준의 균일성과 전원을 제공할 수 있습니다. AccuGlow 기능을 사용하면 저압 고온 증착이 가능합니다. 이 기능은 원자로의 프로세스 균일성, 수율 및 효율성을 극대화합니다. AMAT Endura TxZ는 이동성 및 저압 유전층의 저압 및 고압 강화를 달성 할 수있는 다중 모드 원자로입니다. 강력한 자동화 및 제어 시스템 (Automation and Control System) 을 통해 사용자 액세스를 향상시키고 사용자는 신속하게 프로세스 레시피를 변경 및 실행할 수 있습니다. 사내 (in-situ) 실시간 모니터링 및 제어를 통해 사용자는 처리 환경의 정확한 그림을 통해 처리 매개변수를 신속하게 최적화할 수 있습니다. 결론적으로, APPLIED MATERIALS Endura TxZ는 최신 반도체 제조 공정의 가장 어려운 문제를 해결할 수있는 매우 다재다능한 원자로입니다. 고급 자동 (Advanced) 기능을 통해 사용자는 프로세스 레시피를 빠르고 정확하게 설정하고 실행할 수 있습니다. Multi-Marquiox RF 소스와 Helios AccuGlow는 탁월한 프로세스 균일성과 힘을 제공합니다. 또한 강력한 자동화 (automation) 및 내부 모니터링 및 제어 시스템 (in-situ monitoring and control system) 을 통해 즉각적인 피드백을 제공하여 프로세스를 실시간으로 최적화할 수 있습니다.