판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura PreClean #293623456

ID: 293623456
PVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PreClean 원자로는 반도체 산업에 사용되는 증기 증착 시스템입니다. 얇은 필름 층으로 기판을 균등하게 코팅하도록 설계되었습니다. 원자로 의 고급 "디자인 '은 생성 된 층 들 이 균일 한 분포 와 우수 한 접착력 을 가지고 있음 을 보장 해 준다. AMAT Endura PreClean 원자로는 목표 결과를 달성하기 위해 4 챔버 승화 챔버를 사용합니다. 내부 고 진공 챔버는 하단에 3 채널 인젝터가있는 석영 튜브로 구성됩니다. 이 "인젝터 '는" 튜브' 를 통하여 소스 물질 을 분산 시켜 물질 을 증기 로 승화 시킨다. 원자로 에 사용 된 "소오스 '의 속도 와 종류 를 조절 함 으로써" 소오스' 는 정확 한 두께 로 기판 에 적용 될 수 있다. 석영 튜브 하단의 3 채널 인젝터에는 소스 재료 도입을위한 3 개의 개별 오프닝이 있습니다. 각 개구부는 개별적으로 제어되어 각 재료의 정확한 증착을 허용합니다. 인젝터 (injector) 는 용융되고 적용된 각 재료의 패턴과 간격을 제어하는 게이트 (gate) 역할을합니다. APPLIED MATERIALS Endura PreClean 원자로는 저압 저온 챔버를 가지고 있습니다. 이 제 2 챔버 (second chamber) 는 물질을 기판에 안정적이고 균일하게 증착시키는 데 도움이됩니다. 일정한 온도와 압력을 유지함으로써, 재료는 반 고체 (semi-solid) 상태로 유지되며, 이를 통해 균등하게 분배되어 기판으로 밀릴 수 있습니다. Endura PreClean 원자로의 세 번째 챔버는 고온 고압 챔버입니다. 이 방은 퇴적 과정의 여파 역할을합니다. 그것 은 물질 을 치료 하고 고체 가 되게 하며, 그 물질 과 기질 사이 의 강한 결합 을 보장 해 준다. "깨어라!" AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PreClean의 네 번째이자 마지막 챔버는 가구 챔버입니다. 이 "챔버 '는" 코우팅' 된 후 기판 을 청소 하고 연마 하는 데 필요 한 도구 와 장비 를 제공 한다. 이 챔버의 일회용품에는 연마제, 연마 제 및 보호 장갑이 포함됩니다. AMAT 엔두라 프리 클린 (Endura PreClean) 원자로의 최첨단 기술은 반도체 산업의 기판 코팅에 효과적인 선택입니다. 원자로 (Reactor) 는 4- 챔버 (4-chamber) 설계와 재료 강착 속도 및 패턴을 정확하게 제어함으로써 기판의 균일하고 효과적인 층을 보장 할 수 있습니다.
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